SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Tez-tez nəzərdən qaçırılan, lakin kritik əhəmiyyətli komponent olan Semicorex Silicon Pedestal, yarımkeçiricilərin diffuziya və oksidləşmə proseslərində dəqiq və təkrarlana bilən nəticələrin əldə edilməsində mühüm rol oynayır. Silikon qayıqların yüksək temperaturlu sobalarda dayandığı xüsusi platforma, təkmilləşdirilmiş temperatur vahidliyinə, vaflinin keyfiyyətinin yüksəldilməsinə və nəticədə, üstün yarımkeçirici qurğunun performansına birbaşa töhfə verən unikal üstünlüklər təklif edir.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSilikon vaflilərin işlənməsi və emalı üçün diqqətlə hazırlanmış Semicorex Silicon Annealing Boat yüksək performanslı yarımkeçirici cihazların əldə edilməsində mühüm rol oynayır. Onun unikal dizayn xüsusiyyətləri və material xassələri onu diffuziya və oksidləşmə kimi kritik istehsal mərhələləri üçün vacib edir, vahid emalın təmin edilməsi, məhsuldarlığın artırılması və yarımkeçirici cihazların ümumi keyfiyyətinə və etibarlılığına töhfə verir.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor, müstəsna səmərəlilik və dəqiqliklə yüksək performanslı yarımkeçirici cihazların istehsalına imkan verən Metal-Üzvi Kimyəvi Buxar Depoziti (MOCVD) epitaksiyasında kritik komponent kimi ortaya çıxdı. Material xassələrinin unikal kombinasiyası onu mürəkkəb yarımkeçiricilərin epitaksial böyüməsi zamanı rast gəlinən tələbkar istilik və kimyəvi mühitlərə mükəmməl uyğunlaşdırır.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Horizontal SiC Wafer Boat yüksək performanslı yarımkeçirici və fotovoltaik cihazların istehsalında əvəzsiz bir vasitə kimi ortaya çıxdı. Yüksək təmizlikli silisium karbidindən (SiC) diqqətlə hazırlanmış bu xüsusi daşıyıcılar ən müasir elektron komponentlərin hazırlanmasında iştirak edən tələbkar proseslər üçün vacib olan müstəsna istilik, kimyəvi və mexaniki xassələri təklif edir.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici vaflilərin epitaksial böyüməsində kritik imkan verən texnologiyanı təmsil edir. Mürəkkəb Kimyəvi Buxar Depoziti (CVD) prosesi vasitəsilə hazırlanmış bu ssensitorlar epitaksial təbəqənin müstəsna vahidliyinə və proses səmərəliliyinə nail olmaq üçün möhkəm və yüksək performanslı platforma təmin edir.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC Ceramic Gofre Boat, vaflinin bütövlüyünü qoruyarkən və yüksək performanslı cihazlar üçün tələb olunan təmizliyi təmin edərkən yüksək temperaturda emal üçün sarsılmaz platforma təmin edən kritik imkan verən texnologiya kimi ortaya çıxdı. O, dəqiqliklə qurulan yarımkeçirici və fotovoltaik sənayelər üçün uyğunlaşdırılmışdır. Vafli emalının bütün aspektləri, çöküntüdən diffuziyaya qədər, ciddi nəzarət və təmiz mühit tələb edir. Biz Semicorex olaraq keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC Ceramic Gofre Boat istehsalına və təchizatına sadiqik.**
Daha çox oxuSorğu göndərin