Çin CVD sobası İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi üçün istifadə olunan CVD sobaları. Kimyəvi buxarın çökməsi, buxarlanmış prekursor qazlar və qızdırılan səth arasında kimyəvi reaksiyadan istifadə edərək, nazik bir təbəqənin bir substratda çökdüyü bir prosesdir.

CVD sobaları adətən vakuum kamerasından, qaz ötürmə sistemindən, istilik sistemindən və substrat tutucusundan ibarətdir. Vakuum kamerası çirklərin çökmə prosesinə müdaxiləsinin qarşısını almaq üçün çökmə mühitindən hava və digər qazları çıxarmaq üçün istifadə olunur. Qaz ötürmə sistemi prekursor qazları substratın səthinə çatdırır, burada onlar istənilən nazik təbəqəni əmələ gətirir. İstilik sistemi, reaksiyanın baş verməsi üçün substratı lazımi temperatura qədər qızdırır. Substrat tutucusu, çökmə prosesi zamanı substratı yerində saxlamaq üçün istifadə olunur.

CVD prosesində prekursor qazlar vakuum kamerasına daxil edilir və qızdırılan substratda nazik bir film yaratmaq üçün parçalanaraq reaksiyaya girən bir temperatura qədər qızdırılır. İstənilən film xüsusiyyətlərinin əldə edilməsini təmin etmək üçün çökmə mühitinin temperaturu və təzyiqi diqqətlə idarə olunur.

CVD sobaları yarımkeçiricilər sənayesində inteqral sxemlər və günəş elementləri kimi mikroelektronik cihazların istehsalı üçün nazik təbəqələrin yerləşdirilməsi üçün geniş istifadə olunur. Onlar həmçinin örtüklər, optik liflər və super keçiricilər kimi qabaqcıl materialların istehsalında istifadə olunur.