SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex 8 düymlük EPI Top Ring, epitaxial böyümə sistemlərində yuxarı örtük üzüyü kimi istifadə üçün hazırlanmış bir sic örtüklü qrafit komponentidir. Sənayenin aparıcı maddi təmizliyi, dəqiq işləmə və yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə uzun komponent həyatını təmin edən ardıcıl örtük və ardıcıl örtük keyfiyyəti üçün Semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex 8 düymlük EPI alt üzük epitaxial vafli emalı üçün vacib olan möhkəm bir SIC örtülmüş qrafit komponentidir. Hər bir istehsal dövründə müqayisə olunmayan material saflığı, örtük dəqiqliyi və etibarlı performans üçün semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex 8 düymlük EPI Suseptor, epitaxial çökmə cihazlarında istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı bir sic örtüklü grafit grafit daşıyıcısıdır. Semikorex seçmək, yarımkeçirici sənayesinin tələbkar standartlarına cavab verən üstün material, dəqiq istehsal və ardıcıl məhsulların etibarlılığını təmin edir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinICP üçün Semicorex SIC Carrier, xüsusi birləşdirilmiş plazma (ICP) etching və çökmə sistemlərində istifadə üçün xüsusi olaraq hazırlanmış sic örtüklü qrafitdən hazırlanmış yüksək effektiv gofret sahibidir. Dünyaca aparıcı anizotrop qrafit keyfiyyəti, dəqiqlik kiçik dəstə istehsalı və saflıq, ardıcıllıq və proses performansına uyğun olmayan öhdəliyi üçün Semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinEpitaxial reaktorlar üçün semikorex qrafit daşıyıcısı, yüksək performanslı epitaxial çökmə üçün optimallaşdırılmış qaz axını üçün dəqiq mikro delikləri olan bir sic örtüklü qrafit komponentidir. Üstün örtük texnologiyası, özelleştirme rahatlığı və sənayenin etibarlı keyfiyyəti üçün semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex SIC örtüklü boşqab, epitaksial tətbiqetmələr üçün hazırlanmış yüksək təmizlik silikon karbid örtüyü ilə qrafitdən hazırlanmış dəqiq mühəndis bir komponentdir. Sənayedə aparıcı CVD örtük texnologiyası, ciddi keyfiyyətə nəzarət və yarımkeçirici istehsal mühitində etibarlılıq üçün semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərin