SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semikorex SIC örtülmüş qrafit qabları, UB LED sənayesində Algan epitaxial böyüməsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı daşıyıcı həllərdir. MOCVD mühitində tələb olunan induksiya, dəqiqlik mühəndisliyi və müqayisə olunmayan etibarlılığı üçün semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinCVD SIC örtüyü ilə semikorex etching vafli operatoru, tələb olunan yarımkeçirici tətbiqetmələr üçün hazırlanmış inkişaf etmiş, yüksək performanslı bir həlldir. Üstün istilik sabitliyi, kimyəvi müqavimət və mexaniki davamlılığı, dünyada yarımkeçirici istehsalçıları üçün yüksək səmərəliliyi, etibarlılığını və səmərəliliyini təmin edən müasir vafkarı istehsalında zəruri bir komponent halına gətirir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex peyk nömrəsi, xüsusi olaraq Aixtron G5 + avadanlıq üçün hazırlanmış yarımkeçirici epitaxy reaktorlarında istifadə olunan kritik bir komponentdir. Semikorex, sənaye tətbiqetmələri üçün uyğunlaşdırılmış etibarlı, yüksək performanslı həllər vermək üçün ən qabaqcıl örtük texnologiyası ilə qabaqcıl material təcrübəsini birləşdirir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex Planetary Suseptor, vahid istilik paylaması, kimyəvi müqavimət və yüksək dəqiqlikli epitaxial təbəqə böyüməsini təmin etmək üçün Aixtron G5 + reaktorları üçün hazırlanmış bir sic örtüklü yüksək təmizlik qrafit komponentidir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex SIC SIC örtükləri SIC Epitaxy prosesində vahid hava axını keçirməsi üçün vacib bir sic örtüklü qrafit komponentidir. SemikoreX, yarımkeçirici istehsal üçün optimal performans təmin etmək, bənzərsiz keyfiyyətli dəqiq mühəndis həllər verir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC Kaplama Komponenti yarımkeçirici istehsalında əsas mərhələ olan SiC epitaksi prosesinin tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuş mühüm materialdır. O, silisium karbid (SiC) kristallarının böyümə mühitinin optimallaşdırılmasında mühüm rol oynayır və son məhsulun keyfiyyətinə və performansına əhəmiyyətli dərəcədə töhfə verir.*
Daha çox oxuSorğu göndərin