SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
|
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
|
Struktur |
|
FCC β fazası |
|
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
|
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
|
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
|
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
|
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
|
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
|
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
|
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
|
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex 1x2 düymlük qrafit vafli tutucular, yarımkeçirici vaflilərin epitaksial prosesi üçün yaxşı uyğun gələn 2 düymlük vaflilər üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı daşıyıcı komponentlərdir. Sənayedə qabaqcıl material təmizliyi, dəqiq mühəndislik və tələb olunan epiteksiya mühitində misilsiz etibarlılıq üçün Semicorex seçin.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC ilə örtülmüş Qrafit Plitələr yüksək məhsuldarlıq üçün sabit, kimyəvi cəhətdən inert termal maneə təmin etmək üçün izostatik qrafit substratda sıx CVD Silikon Karbid örtüyündən istifadə edərək, SiC və GaN epitaksinin ciddi tələbləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlik daşıyıcılarıdır. Semicorex qlobal müştərilər üçün keyfiyyətli məhsullar və xidmətlər təqdim edir.*
Daha çox oxuSorğu göndərinSiC ilə örtülmüş qrafitdən hazırlanmış Semicorex SiC epi-vaflı əmzikləri yüksək temperaturlu epitaksial böyümə proseslərində müstəsna istilik vahidliyi və kimyəvi sabitliyi təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Semicorex bütün dünyada müştərilərə ən yüksək keyfiyyətli məhsullar və ən yaxşı xidməti təqdim etməyə sadiqdir. Güclü texniki təcrübə və etibarlı istehsal imkanları ilə biz qlobal tərəfdaşlara sabit performans və uzunmüddətli dəyər əldə etməyə kömək edirik.*
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar yarımkeçirici plastinaları sabit şəkildə dəstəkləmək və düzəltmək üçün yarımkeçirici epitaksial böyümə prosesində istifadə olunan əsas komponentlərdir. Yetkin istehsal imkanlarından və ən müasir istehsal texnologiyalarından istifadə edərək, Semicorex dəyərli müştərilərimiz üçün bazarda aparıcı keyfiyyət və rəqabətqabiliyyətli qiymətə SiC örtüklü epitaksial həssaslıq təmin etmək öhdəliyi götürür.
Daha çox oxuSorğu göndərinSiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD reseptorları vafli substratların saxlanması və qızdırılması üçün cavabdeh olan Metal-üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) avadanlıqlarında istifadə olunan əsas komponentlərdir. Üstün istilik idarəetməsi, kimyəvi müqaviməti və ölçü sabitliyi ilə SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD həssasları yüksək keyfiyyətli vafli substrat epitaksisi üçün optimal seçim kimi qəbul edilir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSiC ilə örtülmüş qrafit qab, Si substratlarına dəqiq temperatur nəzarəti və silikon epitaksial böyümə prosesi zamanı sabit dəstək verən ən müasir yarımkeçirici hissədir. Semicorex həmişə yüksək keyfiyyətli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün tələb olunan əsas komponent həllərini müştərilərə təqdim edərək, müştəri tələblərinə üstünlük verir.
Daha çox oxuSorğu göndərin