SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x bant boşluğu, bu da materiala yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edir və onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C ilə işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β mərhələsi |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
ICP Etch üçün Semicorex SiC Susceptor yüksək keyfiyyət və ardıcıllıq standartlarının saxlanmasına diqqət yetirməklə istehsal edilmişdir. Bu qoruyucuları yaratmaq üçün istifadə edilən möhkəm istehsal prosesləri hər bir partiyanın ciddi performans meyarlarına cavab verməsini təmin edərək, yarımkeçirici aşındırmada etibarlı və ardıcıl nəticələr verir. Bundan əlavə, Semicorex sürətli çatdırılma cədvəlləri təklif etmək üçün təchiz edilmişdir ki, bu da yarımkeçiricilər sənayesinin sürətli dönüş tələbləri ilə ayaqlaşmaq, keyfiyyətdən ödün vermədən istehsal qrafiklərinin yerinə yetirilməsini təmin etmək üçün çox vacibdir. Keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən ICP Etch üçün SiC Susceptor.**
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC örtüklü dəstək halqası yarımkeçirici epitaksial böyümə prosesində istifadə olunan vacib komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC örtüklü üzük müasir yarımkeçirici istehsalının tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuş yarımkeçirici epitaksial böyümə prosesində mühüm komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinGünəş hüceyrəsinin diffuziyası üçün Semicorex SiC Boat-ın etibarlılığı və üstün performansı, günəş batareyası istehsalının tələbkar şərtlərində ardıcıl olaraq çatdırılma qabiliyyətindən irəli gəlir. SiC-nin yüksək keyfiyyətli material xassələri bu qayıqların günəş batareyalarının sabit və səmərəli istehsalına töhfə verərək geniş iş şəraitində optimal şəkildə işləməsini təmin edir. Onların performans atributlarına əla mexaniki möhkəmlik, istilik sabitliyi və ətraf mühitin streslərinə qarşı müqavimət daxildir, bu da SiC Boat for Solar Cell Diffusion-u fotovoltaik sənayedə əvəzolunmaz alətə çevirir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck, silikon epitaksial vaflilərdə qallium nitridin işlənməsi və emalı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, dəqiqliklə işlənmiş substrat tutucudur. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinMOCVD üçün Semicorex SiC Wafer Susceptors, yarımkeçirici materialların vaflilərə epitaksial çökdürülməsini asanlaşdırmaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmış dəqiqlik və innovasiya nümunəsidir. Plitələrin üstün material xüsusiyyətləri onlara yüksək temperatur və korroziyalı mühitlər də daxil olmaqla epitaksial böyümənin sərt şərtlərinə tab gətirməyə imkan verir və onları yüksək dəqiqlikli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün əvəzolunmaz edir. Biz Semicorex-də MOCVD üçün keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC Gofret Susseptorlarının istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.
Daha çox oxuSorğu göndərin