Semicorex RTP daşıyıcısı, RTA, RTP və ya sərt kimyəvi təmizləmə üçün həqiqətən sabit olan kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesi ilə örtülmüş silikon karbiddir. Yarımkeçirici prosesinin əsasını təşkil edən epitaksiya həssasları əvvəlcə çökmə mühitinə məruz qalır, buna görə də yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır. SiC örtüklü daşıyıcı həm də yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
● Yüksək təmizlikdə SiC örtüklü qrafit
● Üstün istilik müqaviməti və kimyəvi müqavimət
● Yüksək istilik vahidliyi
● Əla aşınma müqaviməti