Sic örtülmüş vafli daşıyıcıları

Semikorex SIC örtüklü vafli daşıyıcılar, epitaxial böyümə, yayılma və CVD kimi yarımkeçirici tətbiqlərdə yüksək temperaturlu proseslər üçün vafizələri dəstəkləyən qabaqcıl komponentlərdir. Daşıyıcılar, sıx və forma istifadə edərək maksimum səth faydaları ilə birləşdirilmiş yüksək saflıq qrafitindən struktur faydalar verirSic örtükOptimal istilik sabitliyi, kimyəvi müqavimət və çətin işləmə şəraitində mexaniki gücü üçün.

Optimal istilik keçiriciliyi üçün yüksək təmizlik qrafit nüvəsi

SIC örtülmüş vafli daşıyıcıları, ultra incə taxıl, yüksək təmizlik qrafitinin substrat materialıdır. Həm yüngül, həm də emal edilə bilən bir istilik dirijorudur, həm də unikal vafli ölçüsü və proses amilləri tərəfindən tələb olunan mürəkkəb həndələrə uydurula bilər. Qrafit, istilik gradientlərinin və istilik emal qüsurlarının meydana gəlməsini məhdudlaşdıran vafli səthində vahid istilik təklif edir.

Səthi qoruma və proses uyğunluğu üçün sıx sic örtük

Qrafit daşıyıcısı yüksək təmizlik, CVD silikon karbid ilə örtülmüşdür. SIC örtüyü hidrogen, xlor və silan kimi növlərdən korroziya, oksidləşmə və qaz çirklənməsindən istifadə olunan, məsaməli sərbəst müdafiəni təmin edir. Son nəticə, ölçülü sabitliyi pozmayan və ya itirməyən, çoxsaylı istilik dövrlərinə tabe olmağı və vaffer çirklənməsi üçün əhəmiyyətli dərəcədə azalmış potensialını təmsil edən bir hissəcikli, sərt bir daşıyıcıdır.

Faydaları və əsas xüsusiyyətlər

Termal müqavimət: Sic örtüklər yüksək temperatur epitaxy və diffuziya ehtiyacları üçün optimallaşdırılmış 1600 ° C-dən çox olan temperaturlara sabitdir.

Əla kimyəvi davamlıdır: Bütün korroziv proses qazları və kimyəvi maddələrin təmizlənməsi və daha uzun ömür və daha az iş vaxtı imkan verir.

Aşağı hissəcik nəsli: SIC səthi çırpınan və hissəcikləri tökülür və cihaz məhsuldarlığı üçün vacib olan proses mühitini təmizləyir.

Ölçü Nəzarət: Vahid gofret dəstəyini təmin etmək üçün vahid gofret dəstəyini təmin etmək üçün dəqiq bir şəkildə hazırlanmışdır.

Qiymətin azaldılması: Daha uzun ömürlük dövrlər və daha aşağı təmir ehtiyacları ənənəvi qrafit və ya çılpaq daşıyıcılardan daha çox mülkiyyət (TCO) daha aşağı səviyyədədir.

Proqramlar:

SIC örtülmüş vafli daşıyıcıları, güc yarımkeçiriciləri, mürəkkəb yarımkeçiricilərin (məsələn, aqrəklər, LED və aqressiv kimyəvi mühitlərdə yüksək temperaturda emal tələb edən digər qurğuların istehsalında geniş istifadə olunur. Səth təmizliyi, davamlılığı və istilik vahidliyinin artdığı epitaxial reaktorlarda xüsusilə vacibdirlər.

Özelleştirme və keyfiyyət nəzarəti

SemikorexSic örtülmüşVafli daşıyıcıları ciddi keyfiyyətə nəzarət protokolları altında istehsal olunur. Standart ölçülər və konfiqurasiya ilə də rahatlıq var və müştəri tələblərinə cavab verən mühəndis həlləri edə bilərik. 4 düymlük və ya 12 düymlük boşalma formatınız olsun, vafli daşıyıcılarını üfüqi və ya şaquli reaktorlar, toplu və ya tək vafli emal və xüsusi epitaxy reseptləri üçün optimallaşdıra bilərik.