Pancake susceptor, yarımkeçirici emalda istifadə olunan vafli daşıyıcının yuvarlaq forması.
Epitaksiya yarımkeçiricilərin emalında həlledici addımdır ki, epitaksial təbəqəni yarımkeçirici vaflilərdə böyüdür, burada vaflilər qrafit həssasları üzərində aparılır. Qrafit həssaslarının keyfiyyətləri epi-vaflilərin keyfiyyətinə əsas təsir göstərir.
Silikon karbid örtüyü olan qrafit həssasları
Semicorex bütün epitaksi reaktorları, o cümlədən, həssaslaşdırıcılar və komponentlər təmin edirbarel həssaslarıvə pancake reseptorları. Biz yüksək təmizlikli qrafit və CVD SiC örtükdən istifadə edirik.