Çin İxtisas qrafiti İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

İxtisas qrafiti işlənmiş bir növ süni qrafitdir. Yarımkeçirici və fotovoltaik istehsal prosesinin, o cümlədən büllur artım, epitaxy və s.

1. Silikon karbid (SIC) kristal böyüməsi

Üçüncü nəsil yarımkeçirici materialı olaraq silikon karbid, yeni enerji nəqliyyatı, 5g rabitə və digər sahələrdə geniş istifadə olunur. 6 düymlük və 8 düymlük SIC kristal böyümə prosesində, ISOSTatic qrafit ilk növbədə aşağıdakı əsas komponentləri istehsal etmək üçün istifadə olunur:

Qrafit çarxı: Bu, SIC Pudra Feedstock sintez etmək və həmçinin yüksək temperaturda büllur artımına kömək etmək üçün istifadə edilə bilər. Yüksək saflığı, yüksək temperaturlu müqavimət və istilik şok müqaviməti sabit büllur artım mühitini təmin edir.

Qrafit qızdırıcısı: Bu, yüksək keyfiyyətli SIC kristal böyüməsini təmin edən vahid istilik paylamasını təmin edir.

İzolyasiya borusu: Bu, kristal böyümə sobasında temperaturun vahidliyini qoruyur və istilik itkisini azaldır.

2. İon implantasiyası

İon implantasiyası yarımkeçirici istehsalda əsas prosesdir. İSostatic qrafit ilk növbədə ion implanterlərində aşağıdakı komponentləri istehsal etmək üçün istifadə olunur:

Grafit Getter: Bu ion saflığını təmin edərək ion şüasında çirk ionlarını mənimsəyir.

Graphite Focusing Üzüyü: Bu ion implantının dəqiqliyini və səmərəliliyini yaxşılaşdıraraq ion şüasına diqqət yetirir. Qrafit substrat qabları: İon implantasiyası zamanı silikon wafters dəstəkləmək və sabitliyi və ardıcıllığı qorumaq üçün istifadə olunur.

3. Epitaxy prosesi

Epitaxy prosesi yarımkeçirici cihaz istehsalında kritik bir addımdır. ISOSTICATICATION TESRED GRAHITE, ilk növbədə epitaxy sobalarında aşağıdakı komponentləri istehsal etmək üçün istifadə olunur:

Qrafit qabları və həssaslıqlar: Epitaxy prosesi zamanı sabit dəstək və vahid istilik keçiriciliyini təmin edən silikon gofretlerini dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

4. Digər yarımkeçirici istehsal proqramları

ISOstatik olaraq basılmış qrafit də aşağıdakı yarımkeçirici istehsal tətbiqlərində geniş istifadə olunur:

Etching Prosesi: Etchers üçün qrafit elektrodları və qoruyucu komponentlər istehsal etmək üçün istifadə olunur. Onun korroziya müqaviməti və yüksək saflığı, interching prosesində sabitliyin və dəqiqliyi təmin edir.

Kimyəvi buxarlanma (CVD) (CVD): CVD sobaları içərisində qrafit qabları və qızdırıcıları istehsal etmək üçün istifadə olunur. Yüksək istilik keçiriciliyi və yüksək temperaturlu müqavimət vahid nazik film çöküntüsünü təmin edir.

Qablaşdırma testi: Test qurğuları və daşıyıcı qabları istehsal etmək üçün istifadə olunur. Onun yüksək dəqiqliyi və aşağı çirklənməsi dəqiq test nəticələrini təmin edir.

Qrafit hissələrinin üstünlükləri

Yüksək saflıq:

Yüksək saflıqdan istifadə edərək, son dərəcə aşağı çirkli məzmunu olan ISOstatik olaraq basılmış qrafit materialından istifadə edərək, yarımkeçirici istehsalın ciddi material təmizlik tələblərinə cavab verir. Şirkətin öz təmizləyici sobası, qrafiti 5pm-dən aşağıya təmizləyə bilər.

Yüksək dəqiqlik:

Qabaqcıl emal avadanlığı və yetkin emal texnologiyası ilə məhsulun ölçülü dəqiqliyi və forması və mövqe tolerantları mikron səviyyəsinə çatmasını təmin edir.

Yüksək performans:

Məhsulun əla yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılığı, radiasiya müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi və digər xüsusiyyətlərə malikdir, yarımkeçirici istehsalın müxtəlif sərt iş şəraiti ilə görüşür.

Xüsusi xidmət:

Xüsusi məhsul dizaynı və emalı xidmətləri müştəri ehtiyaclarına görə fərqli tətbiq ssenarilərinin ehtiyaclarını ödəmək üçün təmin edilə bilər.

Qrafit məhsullarının növləri

(1) izostatik qrafit
İSostatic qrafit məhsulları soyuq izostatik basaraq istehsal olunur. Digər formalaşma metodları ilə müqayisədə bu prosesin istehsal etdiyi çarmıxa əla sabitlik var. SIC tək kristalları üçün tələb olunan qrafit məhsulları, hər şey böyükdür, bu da istifadə tələblərinə cavab verə bilməyən qrafit məhsullarının səthində və içərisində qeyri-bərabər saflıqa səbəb olacaqdır. SIC tək kristalları üçün tələb olunan geniş ölçülü qrafit məhsullarının dərin təmizlənməsi tələblərinə cavab vermək üçün, məhsul səthinin və nüvəsinin təmizliyi istifadə tələblərinə cavab verə bilməsi üçün böyük ölçülü və ya xüsusi formalı qrafit məhsullarının dərin və vahid təmizlənməsinə nail olmaq üçün unikal yüksək temperaturlu termokimyəvi nəbzi nəbzi Pulse təmizləyici prosesi qəbul edilməlidir.

(2) məsaməli qrafit
Məsaməli qrafit, yüksək gözeneklenək və aşağı sıxlıq olan bir qrafit növüdür. SIC kristal böyümə prosesində məsaməli qrafit kütləvi transfer vahidliyinin yaxşılaşdırılmasında, faza dəyişikliyinin meydana gəlməsinin və kristal formasının yaxşılaşdırılmasında mühüm rol oynayır.
Məsaməli qrafitin istifadəsi, xammal sahəsinin temperaturu və temperaturun vahidliyini artırır, məqbul temperaturun fərqini artırır və xammal səthinin yenidən qurulmasını zəiflətməyə da müəyyən təsir göstərir; Böyümə kamerasında, gözenekli qrafit, böyümə prosesi boyunca material axınının sabitliyini artırır, böyümə sahəsinin C / SI nisbətini artırır, faza dəyişmə ehtimalını azaltmağa kömək edir və eyni zamanda məsaməli qrafit də kristal interfeysinin yaxşılaşdırılmasında rol oynayır.

(3) hiss et
Yumşaq hiss və sərt hisslər ikisi də SIC kristal böyüməsi və epitaxial bağlantılardakı vacib termal izolyasiya materialları rolunu oynayır.

(4) qrafit folqa
Qrafit kağızı kimyəvi müalicə və yüksək temperaturlu rolling vasitəsilə yüksək karbonlu lopa qrafitindən hazırlanmış funksional bir materialdır. Yüksək istilik keçiriciliyi, elektrik keçiriciliyi, elastikliyə və korroziyaya davamlılığı var.

(5) kompozit materiallar
Karbon-karbon istilik sahəsi, fotovoltaik tək kristal soba istehsalında əsas istehlak materiallarından biridir.

Semikorex istehsalı

Semikorex, kiçik toplu, xüsusi istehsal üsulları ilə qrafit hazırlayın. Kiçik toplu istehsal məhsulları daha nəzarət edir. Bütün proses proqramlaşdırıla bilən məntiq nəzarətçiləri (PLCS) tərəfindən idarə olunur, ətraflı proses məlumatları qeyd edildi, tam ömrük izləmə qabiliyyətini təmin edir.

Bütün qovrulma prosesi zamanı müxtəlif yerlərdə müqavimətdə əldə olunan ardıcıllıq və sıx temperatur nəzarətini qorudu. Bu, qrafit materiallarının homojenliyini və etibarlılığını təmin edir.

Semikorex, digər təchizatçılardan fərqli olan tam izostatik pressing texnologiyasından istifadə edir; Bu, qrafitin ultra formasının özü və epitaksial proseslərdə xüsusilə vacib olduğu deməkdir. Hərtərəfli material vahidliyi testləri, o cümlədən sıxlıq, müqavimət, sərtlik, əyilmə gücü və müxtəlif nümunələrdə gücü.