Emal zamanı yarımkeçirici vaflilər xüsusi sobalarda qızdırılmalıdır. Reaktor uzunsov silindrik borulardan ibarətdir ki, burada vaflilər əvvəlcədən müəyyən edilmiş, bərabər məsafədə vafli qayıqlarda yerləşdirilir. Kamera daxilində emal şəraitində yaşamaq və emal avadanlığından, vafli qayıqlardan və bir çox tullantılardan vaflilərə tullantıları minimuma endirmək üçün vafli emalında istifadə olunan digər qurğular silisium karbid (SiC) kimi materialdan hazırlanır.
Emal ediləcək vafli partiyası ilə yüklənmiş qayıqlar uzun konsollu avarlarda yerləşdirilir, onların vasitəsilə boru sobalarına və reaktorlara daxil edilə və onlardan çıxarıla bilər. Avarlara bir və ya bir neçə qayığın yerləşdirilə biləcəyi yastılaşdırılmış daşıyıcı bölmə və yastı daşıyıcı bölmənin bir ucunda yerləşdirilmiş uzun tutacaq daxildir və onun vasitəsilə avar idarə oluna bilər.
Konsollu avar, yüksək təmizlik və yarımkeçirici emalda komponentlər üçün ən yaxşı seçim olan CVD SiC nazik təbəqə ilə yenidən kristallaşdırılmış silisium karbidindən istifadə etmək tövsiyə olunur.
Semicorex çertyojlara və iş mühitinə uyğun olaraq fərdiləşdirmə xidməti təqdim edə bilər.