Bizim haqqımızda

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd Çində ən yüksək səviyyəli kimyəvi buxar çökmə (CVD) SiC örtük məhsullarının aparıcı yüksək keyfiyyətli təchizatçısıdır. Biz innovativ yarımkeçirici materialların, xüsusilə SiC örtük texnologiyasının və onun yarımkeçirici sənayedə tətbiqinin tədqiqi və işlənib hazırlanmasına sadiqik. kimi yüksək keyfiyyətli məhsulların geniş çeşidini təklif edirikSiC ilə örtülmüş qrafit tutucular, silisium karbidlə örtülmüşdür, dərin UV epitaksiya həssasları, CVD substrat qızdırıcıları, CVD SiC vafli daşıyıcıları, vafli qayıqlar, eləcə dəyarımkeçirici komponentlərvəsilisium karbid keramika məhsulları.

LED çip epitaksisində və silikon monokristal substratlarında istifadə edilən SiC nazik filmi almazla eyni kristal qəfəs quruluşuna malik kub fazaya malikdir və sərtliyə görə almazdan sonra ikinci yerdədir. SiC, yarımkeçirici elektronika sənayesində tətbiqi üçün böyük potensiala malik geniş yayılmış geniş diapazonlu yarımkeçirici materialdır və yüksək istilik keçiriciliyi, aşağı istilik genişlənmə əmsalı, yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılıq kimi əla fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərə malikdir.

Elektron cihazların istehsalında vaflilər bir neçə mərhələdən, o cümlədən silikon epitaksiyadan keçməlidir, burada vaflilər qrafit tutucular üzərində aparılır. Vaflinin epitaksial təbəqəsinin keyfiyyətində susseptorların keyfiyyəti və xassələri həlledici rol oynayır. Qrafit bazası MOCVD avadanlığının əsas komponentlərindən biridir və substratın daşıyıcısı və qızdırıcısıdır. Onun termal cəhətdən sabit İstilik vahidliyi kimi Performans parametrləri epitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətində həlledici rol oynayır və birbaşa orta Uniformasiya və təmizliyi müəyyən edir.

Semicorex-də biz sinterlənmiş SiC materialları ilə müqayisədə daha yüksək təmizliyə malik yüksək möhkəmlikli izostatik qrafit üzərində sıx β-SiC filmləri istehsal etmək üçün CVD-dən istifadə edirik. SiC ilə örtülmüş qrafit qoruyucuları kimi məhsullarımız qrafit bazasına xüsusi xüsusiyyətlər bəxş edərək, qrafit əsasın səthini yığcam, hamar və məsaməli olmayan, üstün istiliyədavamlı, istilik vahidliyi, korroziyaya davamlı və oksidləşməyə davamlı edir.

SiC örtük texnologiyası xüsusilə LED epitaksial daşıyıcılarda - böyümədə və Si monokristal epitaksiyasında geniş istifadə edilmişdir. Yarımkeçirici sənayenin sürətli inkişafı ilə SiC örtük texnologiyasına və məhsullarına tələbat əhəmiyyətli dərəcədə artmışdır. SiC örtük məhsullarımız aerokosmik, fotovoltaik sənaye, nüvə enerjisi, yüksək sürətli dəmir yolu, avtomobil və digər sənaye sahələrində geniş tətbiq sahəsinə malikdir.

Məhsul tətbiqi

LED IC epitaksisi

Bir kristal silisium epitaksisi

RTP/TRA vafli daşıyıcıları

ICP/PSS aşındırma

Plazma aşındırma

SiC epitaksiyası

Monokristal silisium epitaksisi

Silikon əsaslı GaN epitaksisi

Dərin UV epitaksisi

yarımkeçirici aşındırma

fotovoltaik sənaye

SiC Epitaksial CVD sistemi

SiC epitaksial film böyüməsi avadanlığı

MOCVD reaktoru

MOCVD sistemi

CVD avadanlığı

PECVD sistemləri

LPE sistemləri

Aixron sistemləri

Nuflare sistemləri

TEL CVD sistemləri

Vecco sistemləri

TSI sistemləri