Kristal böyümə sobası silikon karbid kristallarının böyüməsi üçün əsas avadanlıqdır. Ənənəvi kristal silikon dərəcəli kristal böyümə sobasına bənzəyir. Ocağın quruluşu çox mürəkkəb deyil. Əsasən soba bədəni, istilik sistemi, rulon ötürmə mexanizmi, vakuum alınması və ölçmə sistemi, qaz yol sistemi, ......
Daha çox oxuPlazma Təkmilləşdirilmiş Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (PECVD) çip istehsalında geniş istifadə olunan texnologiyadır. O, plazmadakı elektronların kinetik enerjisindən qaz fazasında kimyəvi reaksiyaları aktivləşdirmək üçün istifadə edir və bununla da nazik təbəqənin çökməsinə nail olur.
Daha çox oxu