Plazma Təkmilləşdirilmiş Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (PECVD) çip istehsalında geniş istifadə olunan texnologiyadır. O, plazmadakı elektronların kinetik enerjisindən qaz fazasında kimyəvi reaksiyaları aktivləşdirmək üçün istifadə edir və bununla da nazik təbəqənin çökməsinə nail olur.
Daha çox oxu