SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semikorex-dən SIC epitaxial modulu, SIC epitaxial böyüməsində kritik bir komponent olan davamlılığı, saflıq və dəqiq mühəndisliyi birləşdirir. Tələb olunan mühitlərdə örtülmüş qrafit həllərində və uzunmüddətli performansda bənzərsiz keyfiyyət üçün yarımforex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex Yuxarı Half Ay, epitaxial reaktorlarda istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yarı dairəvi bir sic örtüklü grafit vafli boşluq suseptidir. Sənayedə lider material saflığı, dəqiq işləmə və uzunmüddətli performans və üstün vafli keyfiyyətini təmin edən vahid siv örtük üçün semikorex seçin. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex SIC örtüklü vafli daşıyıcılar, yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslər zamanı optimal vafli dəstəyi üçün hazırlanmış CVD silikon karbidi ilə örtülmüş yüksək təmizlik qrafitli süzünlərdir. Dünyanın aparıcı yarımkeçirici fabs tərəfindən etibarlı olmayan örtüklü örtük keyfiyyəti, dəqiq istehsal və sübut edilmiş etibarlılıq üçün Semikorex seçin.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex SIC örtüklü vafli süzgəclər, təzyiqsiz şəraitdə ultrathin film çökməsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı daşıyıcıdır. Qabaqcıl material mühəndisliyi, dəqiq məsaməsizlik nəzarəti və sağlam SIC örtük texnologiyası ilə SemicoreX, nəsil yarımkeçirici istehsalının inkişaf edən ehtiyaclarını ödəmək üçün sənayenin aparıcı etibarlılığı və özelleştirmini təmin edir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex 8 düymlük vafferçəkən üzükləri, aqressiv istilik və kimyəvi mühitlərdə dəqiq vaffer fiksasiyası və müstəsna performans təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Semicorex, tətbiq olunan seminalı, sıx ölçülü nəzarət və qabaqcıl yarımkeçirici emalın ciddi tələblərinə cavab verən ardıcıl sic örtük keyfiyyəti verir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex RTP SIC örtükləri, sürətli istilik emal mühitində istifadə üçün istifadə üçün mühəndis yüksək performanslı vafli daşıyıcılarıdır. Aparıcı yarımkeçirici istehsalçıları tərəfindən etibarlı, Semikorex, daha ciddi keyfiyyət standartları və dəqiqlik böhranı və çirklənmə nəzarəti, davamlılığı və çirklənmə nəzarəti təmin edir. *
Daha çox oxuSorğu göndərin