Sic epitaxial modul

Premium dərəcəli, SIC örtüklü qrafitdən hazırlanmış Semikorex SIC Epitaxial modulu, silikon karbidinin (SIC) epitaxy proseslərinin ən çətin elementlərinə tab gətirmək üçün hazırlanmış epitaxial avadanlıqların bir hissəsidir. Kimyəvi buxar çöküntüsündə (CVD) tətbiqetmələrində yüksək temperatur üçün nəzərdə tutulmuş bu modul, yüksək keyfiyyətli SIC-nin epitaksial böyüməsi zamanı sabitliyin və boşaltma dəstəyinin nümayiş etdirilməsində vacib bir komponentdir. Semikorex SIC Modulu, keyfiyyətli SIC spesifikasiyalarına uyğun epitaksial materialın etibarlı və təkrarlanabilir bir istehsalı üçün effektiv baza materialdır.

Semikorex SIC Modulu, silikon karbid örtüyünün sıx və vahid təbəqəsi olan bir qrafit substratudur və ən ağır proses kimmissələrində də hissəciklərin çirklənməsinə və korroziyaya davamlıdır. SIC örtükləri əsas qrafitin çirklənməsini və eroziyasını qadağan edir və 1600 ° C-ə qədər əhəmiyyətli mexaniki dəstək və qorunma təmin edir. SIC modulu, qrafitin ümumi aşınma, korroziya və kimyəvi davamlı xüsusiyyətləri ilə gücünü və işləkliyini, sərt epitaxial atmosferdə davamlılıq baxımından ən uyğun modulun ən yaxşı uyğunlaşması ilə birləşdirir.

Modul, istilik velosiped prosesi boyunca ölçülü dəyişikliyi minimuma endirərkən vahid istilik profilini təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Bu istilik vahidliyi və sabitliyi vafli düzlük və epitaxy vahidliyini qorumaq üçün vacibdir. Dafer, yüksək istilik keçiriciliyi ilə sabit bir mövqe tutursa, emal zamanı vaflonun arasındakı istilik şəraiti vahid olacaqdır ki, bu da büllur keyfiyyəti və ya qismən keyfiyyəti və ya çirklənmə ilə əlaqəli şəkildə pozulur.

SIC epitaxial modulu, isti divar və soyuq divar daxil olmaqla bir neçə epitaxial reaktora uyğundur və xüsusi reaktor planlarını və müştəri ehtiyaclarını yerləşdirmək üçün forma və ölçüləri düzəltmək üçün seçim var. SIC epitaxial modulu, lakin 4 düymlük, 6 düymlük və ortaya çıxan 8 düymlük SIC epitaxy tətbiqetmələri üçün uyğun deyil. SIC epitaxial modulunun yüksək saflığı və optimallaşdırılmış həndəsəsi olduğuna görə, fiziki müdaxilə, epitaxial təbəqənin daha çox idarə olunan böyüməsini dəstəkləyən qaz axını dinamikası və istilik gradientlərinə təsir edərkən minimuma endirilir.

Semikorex'in SIC Epitaxial modulları eksantrik məclisdə ən yüksək keyfiyyətli idarə olunan parçanı təmsil edir. Yüksək keyfiyyətli idarəetmə protokollarına əlavə olaraq, Semikorex, vahid, sıx və aşağı qabaqcıl SIC filmlərini tətbiq etmək üçün ən son örtük metodlarından istifadə edir. Semikorex, yüksək performanslı keramika örtükləri və ən yaxşı məhsulun həyatı, ardıcıllığı və işləmə qabiliyyətini təmin edən qrafit emalının uzun tarixi var.

Maddi keyfiyyəti birbaşa cihazın fəaliyyətinə birbaşa təsir etdiyi SIC elektrik cihazlarının sürətli inkişaf edən sahəsində, epitaxial modul yalnız istehlak edilə bilməz - bu kritik bir təminatçıdır. Semikorex-dən SIC örtülmüş qrafit epitaxial modulu, SIC Epitaxy-də səmərəlilik, məhsuldarlıq və səmərəliliyi itələmək istəyən müştərilər üçün möhkəm, etibarlı bir həll təklif edir.