TaC örtüklü qrafit yüksək təmizlikli qrafit substratının səthini xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesi ilə incə tantal karbid təbəqəsi ilə örtməklə yaradılmışdır.
Tantal karbid (TaC) tantal və karbondan ibarət bir birləşmədir. Metal elektrik keçiriciliyinə və olduqca yüksək ərimə nöqtəsinə malikdir, bu da onu gücü, sərtliyi, istilik və aşınma müqaviməti ilə tanınan odadavamlı keramika materialına çevirir. Tantal karbidlərinin ərimə nöqtəsi təmizlikdən asılı olaraq təxminən 3880 ° C-də zirvələrə çatır və ikili birləşmələr arasında ən yüksək ərimə nöqtələrindən birinə malikdir. Bu, daha yüksək temperatur tələbləri MOCVD və LPE kimi mürəkkəb yarımkeçiricilərin epitaksial proseslərində istifadə olunan performans imkanlarını aşdıqda onu cəlbedici alternativ edir.
Semicorex TaC Coating material məlumatları
|
Layihələr |
Parametrlər |
|
Sıxlıq |
14,3 (qm/sm³) |
|
Emissiya qabiliyyəti |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Sərtlik (HK) |
2000 |
|
Müqavimət (Ohm-sm) |
1×10-5 |
|
İstilik Sabitliyi |
<2500 ℃ |
|
Qrafit Ölçü Dəyişməsi |
-10~-20um (istinad dəyəri) |
|
Kaplama Qalınlığı |
≥20um tipik dəyər (35um±10um) |
|
|
|
|
Yuxarıdakılar tipik dəyərlərdir |
|
Epitaxial böyümədəki Semikorex Tac örtükləri, yarımkeçircə epitaksial prosesdə hava qəbuluda yerləşən qiymətli işlənmiş bir hissəsidir. SemicoreX, Çində CVD Tac örtük texnologiyası sahəsində ixtisaslaşan və dünyada məhsul ixrac edən bir üst-üstə bir şirkətdir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinTAC örtülmüş toxum kristal sahibi, semisküdçü materialların böyümə mühiti üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı bir komponentdir. TTAC örtülmüş toxum kristal sahiblərinin aparıcı istehsalçısı olaraq, SemicoreX, yüksək səviyyəli yarımkeçirici istehsal sahəsində səmərəli əsas komponent həlləri təklif edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex Tac örtükləri Pedestal Dəstəkçisi, reaktor pillələri və optimallaşdırma prosesi, qaz axınının paylanmasını dəstəkləyən epitaksial böyümə sistemləri üçün hazırlanmış kritik bir komponentdir. SemikoreX, üstün struktur bütövlüyünü, istilik sabitliyini və kimyəvi müqavimətini, inkişaf etmiş epitaxy tətbiqlərindəki ardıcıl, etibarlı bir performansını təmin edən yüksək performanslı, dəqiq mühəndis bir həll təqdim edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex CVD Tac örtüklü Suseptor, MOCVD epitaxial proseslər üçün hazırlanmış bir mükafat həllidir, ekstremal proses şəraitində görkəmli istilik sabitliyi, saflıq və korroziya müqaviməti təmin edir. Semikorex, hər istehsal dövründə ardıcıl gofret keyfiyyəti, uzadılmış komponentin ömrü və etibarlı performans təmin edən dəqiq mühəndis örtük texnologiyasına yönəlmişdir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex Tac örtülmüş çarxlar, həm metal ərimə, həm də qabaqcıl yarımkeçirici proseslər üçün uyğun həddindən artıq temperatur tətbiqləri üçün hazırlanmış yüksək performanslı konteynerdir. Semikorex seçmək, ən tələbkar mühitdə müstəsna saflıq, davamlılıq və sabitlik verən qabaqcıl örtük texnologiyası və mühəndislik təcrübəsinə giriş əldə etmək deməkdir. *
Daha çox oxuSorğu göndərinSemikorex Tac örtülmüş planetar plaka, çoxsaylı vafli cibləri və optimallaşdırılmış qaz axını idarəsi ilə planetar hərəkəti olan mocvd epitaxial böyümə üçün hazırlanmış yüksək dəqiqlikli bir komponentdir. Semikorex seçmək, Yarımkeçirici sənayesi üçün müstəsna davamlılıq, saflıq və emal sabitliyi verən qabaqcıl örtük texnologiyası və mühəndislik təcrübəsinə daxil olmaq deməkdir. *
Daha çox oxuSorğu göndərin