Qaz giriş halqaları vaflinin kənarını və perimetrini örtmək, təmiz, təsirsiz və qorunan mühit yaratmaq üçün kritik kamera komponentlərini qorumaq və çökmə kameralarında onların istifadə müddətini artırmaq üçün istifadə olunur, beləliklə, çökmə və ya vafli emal zamanı onlar plazmaya və yüksək temperatura məruz qalırlar. , belə ki, güclü plazma davamlılığı və yüksək təmizlik son vafli məhsulu üçün çox vacibdir.
Semicorex CVD SiC örtüklü üzüklər bu tələbkar epitaksiya avadanlığı tətbiqləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır.