SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck, silikon epitaksial vaflilərdə qallium nitridin işlənməsi və emalı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, dəqiqliklə işlənmiş substrat tutucudur. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinMOCVD üçün Semicorex SiC Wafer Susceptors, yarımkeçirici materialların vaflilərə epitaksial çökdürülməsini asanlaşdırmaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmış dəqiqlik və innovasiya nümunəsidir. Plitələrin üstün material xüsusiyyətləri onlara yüksək temperatur və korroziyalı mühitlər də daxil olmaqla epitaksial böyümənin sərt şərtlərinə tab gətirməyə imkan verir və onları yüksək dəqiqlikli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün əvəzolunmaz edir. Biz Semicorex-də MOCVD üçün keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC Gofret Susseptorlarının istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.
Daha çox oxuSorğu göndərinEpitaksial böyümə sisteminin ayrılmaz hissəsi olan SiC örtüklü Semicorex vafli daşıyıcıları müstəsna təmizliyi, həddindən artıq temperaturlara qarşı müqaviməti və möhkəm sızdırmazlıq xüsusiyyətləri ilə seçilir. epitaksial təbəqənin çökməsinin kritik mərhələsi, bununla da MOCVD prosesinin ümumi performansını optimallaşdırır. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən SiC örtüklü yüksək performanslı vafli daşıyıcıların istehsalına və təchiz edilməsinə sadiqik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex GaN Epitaxy Carrier qabaqcıl materialları və dəqiq mühəndisliyi birləşdirən yarımkeçirici istehsalında əsas rol oynayır. CVD SiC örtüyü ilə seçilən bu daşıyıcı müstəsna davamlılıq, istilik səmərəliliyi və qoruyucu imkanlar təklif edir və özünü sənayedə fərqləndirir. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı GaN Epitaksi Daşıyıcısının istehsalına və təchizatına sadiqik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC örtüklü Gofret Diski yarımkeçiricilərin istehsalı texnologiyasında aparıcı irəliləyişi təmsil edir və yarımkeçiricilərin hazırlanmasının mürəkkəb prosesində mühüm rol oynayır. Vasvası dəqiqliklə hazırlanmış bu disk üstün SiC örtüklü qrafitdən hazırlanmışdır və silikon epitaksiya tətbiqləri üçün əla performans və davamlılıq təmin edir. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC örtüklü vafli diskin istehsalına və təchiz edilməsinə sadiqik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC vafli qabı, epitaksial təbəqənin çökməsinin əsas mərhələsi zamanı yarımkeçirici vafliləri dəstəkləmək və qızdırmaq üçün dəqiqliklə hazırlanmış Metal-Üzvi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (MOCVD) prosesində mühüm aktivdir. Bu nimçə yarımkeçirici cihazların istehsalının ayrılmaz hissəsidir, burada təbəqənin böyüməsinin dəqiqliyi böyük əhəmiyyət kəsb edir. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC Gofret Tabağının istehsalına və təchizatına sadiqik.
Daha çox oxuSorğu göndərin