Fokus halqası və ya kənar üzüklər vafli kənarı və ya perimetri ətrafında aşındırma vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Semicorex fokus üzükləri kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) istifadə edərək silikon karbidlə örtülmüşdür, üstün istilik müqaviməti, ardıcıl epi təbəqənin qalınlığı və müqaviməti üçün hətta istilik vahidliyi və plazma aşındırma və ya quru aşındırma prosesində ekstremal mühitlərə tab gətirmək üçün qurulmuş davamlı kimyəvi müqavimət təmin edir. .