SiC (silikon karbid) duş başlığı müxtəlif sənaye proseslərində, xüsusən də yarımkeçiricilər istehsalı sənayesində istifadə olunan xüsusi komponentdir. O, kimyəvi buxar çökmə (CVD) və epitaksial böyümə prosesləri zamanı proses qazlarını bərabər və dəqiq şəkildə paylamaq və çatdırmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Duş başlığı, səthində bərabər paylanmış çoxlu deşiklər və ya nozzilər olan disk və ya boşqab şəklindədir. Bu deşiklər texnoloji qazlar üçün çıxış yeri kimi xidmət edir və onların proses kamerasına və ya reaksiya kamerasına vurulmasına imkan verir. Deliklərin ölçüsü, forması və paylanması xüsusi tətbiq və proses tələblərindən asılı olaraq dəyişə bilər.
SiC duş başlığının istifadəsinin əsas üstünlüklərindən biri onun əla istilik keçiriciliyidir. Bu xüsusiyyət, isti nöqtələrin qarşısını alaraq və ardıcıl proses şəraitini təmin edərək, duş başlığı səthində səmərəli istilik köçürməsinə və temperaturun vahid paylanmasına imkan verir. Təkmilləşdirilmiş istilik keçiriciliyi həmçinin prosesdən sonra duş başlığının sürətli soyudulmasına imkan verir, dayanma müddətini minimuma endirir və ümumi məhsuldarlığı artırır.
SiC duş başlıqları yüksək davamlıdır və aşınmaya və aşınmaya davamlıdır, hətta uzun müddət korroziyalı qazlara və yüksək temperaturlara məruz qaldıqda belə. Bu uzunömürlülük uzadılmış texniki xidmət intervallarına və avadanlığın dayanma müddətinin azalmasına çevrilir, nəticədə xərclərə qənaət və prosesin etibarlılığı artır.
Dayanıqlığına əlavə olaraq, SiC duş başlıqları əla qaz paylama imkanları təklif edir. Dəqiq işlənmiş çuxur nümunələri və konfiqurasiyaları vahid qaz axını və substrat səthi üzərində paylanmasını təmin edərək, ardıcıl plyonka çöküntüsünü və təkmilləşdirilmiş cihazın işini təşviq edir. Qazın vahid paylanması həmçinin plyonka qalınlığında, tərkibində və digər kritik parametrlərdə dəyişiklikləri minimuma endirməyə kömək edir, prosesə nəzarətin və məhsuldarlığın yaxşılaşdırılmasına töhfə verir.
Semicorex aşağı müqavimətli sinterlənmiş silisium karbid yarımkeçirici duş başlığı təklif edir. Bizim müxtəlif unikal imkanlardan istifadə edərək, təkmil keramika materiallarını sifariş etmək və təchiz etmək imkanımız var.
Qaz paylayıcı lövhə və ya qaz duş başlığı kimi tanınan Metalik Duş başlığı yarımkeçirici istehsal proseslərində geniş şəkildə istifadə edilən kritik komponentdir. Onun əsas funksiyası qazları reaksiya kamerasına bərabər paylamaq, yarımkeçirici materialların proseslə vahid təmasda olmasını təmin etməkdir. qazlar.**
Daha çox oxuSorğu göndərin