8. düymlük epi tərəfdarı

Semikorex 8 düymlük EPI Suseptor, yarımkeçiricilərin istehsalı üçün epitaxial çökmə əməliyyatlarında istifadə olunan yüksək texnologiyalı bir vaffer dəstəyidir. İstilik sabitliyinin, kimyəvi müqavimət, kimyəvi müqavimət, kimyəvi müqavimət, kimyəvi müqavimət və depozitin vahidliyi olan epitaksial reaktorlarda istifadə olunan qalın, davamlı vahid, silikon karbidinin (SIC) olan kifayət qədər təmiz qrafit nüvəli nüvəli material ilə hazırlanmışdır. 8 düymlük diametri 200 mm gofreyi emal edən avadanlıqlar üçün sənaye spesifikasiyalarına standartlaşdırılır və buna görə də mövcud uydurmaya etibarlı inteqrasiya təmin edir.  

Epitaxial böyümə yüksək nəzarətdə olan bir istilik mühiti və nisbətən inert maddi qarşılıqlı əlaqələr tələb edir. Hər iki halda SIC örtüklü qrafit müsbət şəkildə yerinə yetiriləcəkdir. Qrafit Core çox yüksək istilik keçiriciliyi və çox aşağı istilik genişləndiricisi, kifayət qədər aşağı bir istilik mənbəyi ilə, qrafit nüvəsindəki istilik sürətlə köçürülə və inferin səthində ardıcıl temperatur gradients-i təmin edə bilər. SIC-nin xarici təbəqəsi, suseptorun xarici qabığına təsir göstərir. SIC təbəqəsi, yüksək temperaturdan, yüksək temperaturdan, hidrogen, xlorlu silekin yüksək aşındırıcı xüsusiyyətləri kimi korroziyadan qorunan, mexanik istehlakın təkrarlanan təbiəti və mexaniki məhv edilməsi, təkrar istilik dövrləri üzərində mühasirəyə alınan mexaniki məhv. Ümumiyyətlə, bu ikili maddi quruluşun kifayət qədər qalın olduğuna görə, həssaslıq, həm mexaniki olaraq səsli, həm də uzun müddətdir ki, uzunluğunda kimyəvi cəhətdən inert olaraq qalacağıq. Nəticə olaraq, bu, müvafiq istilik aralığında işləyərkən bunu empirik olaraq müşahidə etdik və SIC təbəqəsi, alətlərin xidmətinin uzunluğunu artırarkən, proses və qrafika nüvəsi arasında etibarlı bir maneə təmin edir.

Qrafit komponentləri yarımkeçirici istehsal proseslərində vacib və inanılmaz dərəcədə vacib bir rəfiqə malikdir və qrafit material keyfiyyəti məhsulun performansında əhəmiyyətli bir amildir. Semikorex-də istehsal prosesimizin hər addımında ciddi nəzarətimiz var, buna görə də toplu olaraq toplu olaraq yüksək reprodusulallı bir homojenlik və ardıcıllığımız ola bilər. Kiçik toplu istehsal prosesimizlə, istehsal prosesində daha möhkəm nəzarət qorumağa imkan verən cəmi 50 kubmetrin cəmi 50 kubmetr olan kiçik karbonizizasiya sobaları var. Hər bir qrafit bloku, prosesimiz boyu fərdi izləmə, izlənilə biləndir. Ocaq daxilində çox nöqtəli temperaturun monitorinqinə əlavə olaraq, istehsal prosesi boyunca temperatur sapmalarını minimuma endirərək maddi səthdə temperaturu izləyirik. İstilik idarəçiliyinə diqqətimiz, daxili stressi minimuma endirməyə və yarımkeçirici tətbiqlər üçün yüksək sabit və çoxalmaz qrafit komponentlərini istehsal etməyə imkan verir.

SIC örtüyü kimyəvi buxar çökməsi (CVD) vasitəsilə tətbiq olunur və hissəcik nəslini azaldan incə taxıl matrixi ilə möhkəm, təmiz bitmiş bir səth istehsal edir; Buna görə də təmiz CVD prosesi inkişaf etdirilir. CVD prosesinin örtülmüş filmi qalınlığına nəzarət vahidliyini təmin edir və istilik velosipedi vasitəsilə düzlük və ölçülü sabitlik üçün vacibdir. Bu nəticədə epitaxy prosesi zamanı ən hətta təbəqə çöküntüsü ilə nəticələnən əla vafli planarlığı təmin edir.

Ölçü ardıcıllığı, Semikorex tərəfindən istehsal olunan 8 düymlük EPI suseptorunun başqa bir əsas üstünlüyüdir. Suseptor, vafli işləyən robotlarla və istilik zonalarında dəqiq bir uyğunluq ilə böyük uyğunluqla nəticələnən sərt tolerantlara işlənmişdir. Suseptor səthi cilalanmış və xüsusi epitaksial reaktorun müəyyən istilik və axın şərtlərinə uyğunlaşdırılır. Seçimlər, məsələn, pin dəlikləri, cib leyləkləri və ya əleyhinə səthlər və ya anti-sürüşmə səthləri OEM alət dizaynlarının və proseslərin xüsusi tələblərinə uyğun ola bilər.

Hər bir suseptor, istehsal zamanı həm istilik performansı, həm də örtük bütövlüyü üçün çox testlərdən keçir. Ölçülü ölçmə və yoxlama, örtüklü yapışma testləri, istilik şok müqavimət testləri və kimyəvi müqavimət testləri daxil olmaqla keyfiyyətə nəzarət metodları tətbiq olunur və kimyəvi müqavimət testləri tətbiq olunur, aqressiv epitaxial mühitlərdə də nail olmaq üçün kimyəvi müqavimət testləri və kimyəvi müqavimət testləri tətbiq olunur. Nəticə, nəticədə yarımkeçirici istehsal sənayesinin hazırkı tələb olunan tələblərinə cavab verən və üstələyən bir məhsuldur.

Semikorex 8 düymlük EPI Suseptor, istilik keçiriciliyini, mexaniki möhkəmliyini və kimyəvi inertliliyi balanslaşdıran SIC örtüklü qrafitdən hazırlanır. 8 Inch Suseptor, yüksək məhsuldarlıq, yüksək keyfiyyətli, yüksək vahidlik müəyyən edilmiş epitaksial proseslərdə nəticələnən yüksək temperaturda sabit, təmiz, vafli dəstəyi istehsalında müvəffəqiyyəti səbəbindən yüksək həcmli epitaxy artım tətbiqetmələri üçün əsas komponentdir. EPI suseptorunun 8 düymlük ölçüsü ən çox bazarda standart 8 düymlük avadanlıqda görülür və mövcud müştərilər avadanlığı ilə əvəzlənir. Standart konfiqurasiyasında EPI suseptoru çox özelleştirilebilir.