8 düymlük epi üst üzük

Semicorex 8 düymlük EPI Top Ring, reaksiya otağında ən yüksək örtük halqası kimi yüksək performans təmin edən epitaxial (EPI) çökmə sistemlərinin ixtisaslaşdırılmış bir komponentidir. Yarımkeçirici wafters epitaksial artım dövründə struktur bütövlüyünə və istilik sabitliyinə və istilik sabitliyinə yönəldərək EPI üst üzük yüksək saflıq qrafitindən hazırlanmışdır və yarımkeçirici istehsalın temperaturu və kimyəvi cəhətdən reaktiv mühitlərə tab gətirmək üçün silikon karbid (SIC) ilə örtülmüşdür.

Epitaksial reaktorlarda, üst üzük vaffer mühitini qorumağa kömək edir və Susceptor Assambleyasının bir hissəsi olaraq çökmə zamanı temperaturun vahidliyi və qaz axınında mühüm rol oynamağa kömək edir. Qrafit substratındakı SIC örtüyü EPI üst üzük (hidrogen, silan, klorosilanes və s. SIC təbəqəsinin sərtliyi və keçiriciliyi, pozulmasının qarşısını alaraq və istehsal dövrü boyunca daha sabit təbəqələrə icazə verməklə EPI üst halqasının performansını artırır.

Ölçülü dəqiqliyə, örtüklü tutarlılıq və təkrarlanma, 8 düymlük EPI üst üzüyü dəqiq mühəndislik ilə istehsal olunur. Qrafit substrati möhkəm tolerantlara işlənmiş və əla saflıq və gücü olan təmiz bir substrat təqdim edərək çirkləri ayırmaq üçün termal təmizlənmişdir. SIC örtüyü kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) vasitəsilə sıx, ardıcıl və güclü bir qoruyucu təbəqə meydana gətirir. Bu proses hissəcik nəslini minimuma endirir və örtüyün uzadılmış istifadə zamanı səth bütövlüyünü qorumağa imkan verir.

Yarımkeçirici istehsalçılar, kritik kamera parametrlərini qorumaq və istehsal zamanı qüsursuz vafizləri dəstəkləmək üçün EPI üst halqasına etibar edirlər. Konfiqurasiya aparıcı OEM 8 düymlük vaffer emal sistemləri ilə istifadə üçün nəzərdə tutulmuşdur. Xüsusi seçimlər daha yaxşı istilik idarəetmə və ya hətta qaz paylanması üçün qalınlıq, səthin bitməsi və yivli dizaynlar üçün mövcuddur.

Bu proqram üçün SIC örtüklü qrafitin xüsusiyyətlərini uyğunlaşdırmaq hər iki materialdan ən yaxşı xüsusiyyətləri alır; Qrafit çox emal edilə bilər və daha çətin, korroziyaya davamlı olan və daha uzun xidmət həyatına malik silikon karbid ilə birləşdirilmiş istilik şok müqaviməti var. Bu birləşmə nəticədə yüksək temperaturda etibarlı olan bir EPI üst halqası verir və təmir fasilələrini azaldır və ümumi inkişaf etmiş avadanlıq təmin edən təmiz və sabit bir emal mühitinə zəmanət verir.

Qrafit komponentləri yarımkeçirici istehsalda əvəzsiz və həlledici rol oynayır. Qrafit materialının keyfiyyəti hazır məhsulun keyfiyyətinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir. Qrafit toplu ardıcıllıq və maddi homojenlik istehsal prosesi boyunca idarə olunur və zəmanətlidir.

Cəmi 50 kubmetr olan kiçik bir karbonizizasiya sobasından istifadə edərək 1.small-toplu istehsal.

2. Hər bir material parçası izlənilir və izlənilir.

Soba daxilində çox nöqtələrdə çox sayda monitorinq minimal temperatur fərqlərini təmin edir.

Materialdakı birdən çox nöqtədə monitorinq minimal temperatur fərqlərini təmin edir.

Semikorex tərəfindən 8 düymlük EPI üst üzüyü müstəsna performans, toplu-partlayış ardıcıllığı və ən çətin yarımkeçiricilər silikon, silikon karbid və ya digər mürəkkəb yarımkeçirici epitaxy proseslərində etibarlılıq təmin edir. Hər istehsal addımında, keyfiyyətə nəzarət edən məhsullar istehsal edirik, yəni yarımkeçirici sənayesi üçün satın alınan hər bir məhsulun keyfiyyətli xüsusiyyətləri üstələyir.

Epitaxy Tətbiqiniz üçün Epitaxy tətbiqetməniz üçün Epitaxy tətbiqetməniz üçün 8 düymlük EPI Top ring, məhsuldarlıq və cihaz performansının yaxşılaşdırılması üçün dəqiq mühəndislik, üstün materiallar və tətbiq xüsusi bir özelleştirme