8 düymlük epi alt üzük

Semicorex 8 düymlük EPI alt üzük yarımkeçirici epitaxy avadanlıqları üçün istifadə olunan və xüsusi Suseptor Assambleyasının alt halqası olmaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmış vacib bir quruluş hissəsidir. Alt üzük, yüksək performanslı yarımkeçirici gofret istehsal etmək üçün lazım olan memoriza sabitliyi, istilik vahidliyi və proses bütövlüyü töhfə verərkən, vafli operator sistemini dəstəkləyir. Alt üzük, səth səviyyəsində, silikon karbidinin (SIC) sıx və vahid örtüklü örtülmüş yüksək təmizlik qrafitindən hazırlanır. Nəticədə, həddindən artıq istilik və kimyəvi şəraitdə qabaqcıl epitaxial reaktorlar üçün yüksək etibarlı bir alternativi təmsil edir.

Qrafit, yüngül çəkisi, əla istilik dirijoru və yüksək temperatur altında tangensial və şaquli ölçüləri sabitliyinə görə ən uyğun bir tikinti üçün ən uyğun baza materialdır. Bu xassələr alt halqanın sürətlə termal dövrü keçirməsinə icazə verir və buna görə xidmətdə olarkən mexaniki performansda ardıcıl davamlılıq nümayiş etdirir. SIC Xarici örtükləri, bir sıx və qüsursuz keramika xarici təbəqəsi istehsal etmək üçün kimyəvi bir buxar çöküntüsü (CVD) prosesindən istifadə edərək tətbiq olunur. Bundan əlavə, CVD prosesi, alt örtük qrafitini narahat etməmək üçün diqqətlə örtülmə ilə taxma və hissəcik nəslindən məhdudlaşdıran bir prosesi təmin edir. SIC və qrafitin birləşməsi olaraq, SIC səthi təbəqəsi, xüsusilə hidrogen və xlorlu şəkildə, həm də əla sərtlik və aşınma müqavimətinə malikdir, həm də istifadə edərkən geniş sərtlik və aşınma müqavimətinə malikdir.

8 düymlük EPI alt ring, silikon, silikon karbid və ya mürəkkəb yarımkeçiricisi olan ən üfüqi və ya şaquli mocvd və CVD epitaxial vasitələrlə uyğunluq üçün hazırlanmışdır. Optimallaşdırılmış həndəsə, vafli hizalanma, universal istilik paylanması və vaffer fırlanmasında sabitlik olan vafli sahibi sisteminin üst-üst komponentlərinə uyğunlaşdırmaq üçün hazırlanmışdır. Epitaxial təbəqə vahidliyini idxal etmək və qüsurları minimuma endirmək üçün üzük atributunun əla düzliyi və konsentrasiyası.

Bu SIC örtülmüş qrafit üzükünün üstünlüklərindən biri, emal zamanı vafkarın çirklənməsinin minimuma endirilməsini minimuma endirən aşağı hissəciklərin emissiya davranışıdır. SIC təbəqəsi, təmiz otaq və daha yüksək məhsuldarlıq dərəcəsinə çatmaq üçün örtüklü qrafit komponentləri ilə müqayisədə qazlı və karbon hissəciklərinin nəsli azalır. Bundan əlavə, kompozit quruluşun əla istilik şok müqaviməti məhsulun həyatını uzadır, yarımkeçirici istehsalçıları üçün əvəz və istismar xərclərini azaldır.

Bütün alt üzüklər ölçülü yoxlanılır, səthi keyfiyyəti yoxlanılır və termal dövrü, yarımkeçirici istehsalın mühitinin əhəmiyyətli ekoloji ehtiyaclarını ödəməyi təmin etmək üçün sınaqdan keçirilmişdir. Bundan əlavə, SIC səthi örtük qalınlığı mexaniki və istilik potensial uyğunluğu üçün kifayət qədərdir; Sik örtüklər, alt üzüklərin yüksək temperaturun çökməsinə məruz qaldıqda soyma və ya qırıntıların baş verməməsini təmin edən yapışma amilləri üçün mütəmadi olaraq araşdırılır. Düz alt üzük fərdi reaktor dizaynı və proses tətbiqləri üçün bir neçə kiçik ölçülü və örtüklü əmlak dəyişikliyi ilə düzəldilə bilər.

Semikorex'dən semikorex 8 düymlük EPI alt üzüyü, epitaxial böyümə sistemləri üçün əla güc, kimyəvi müqavimət və əlverişli istilik xüsusiyyətləri təklif edir. SIC örtüklü qrafitin məlum faydaları səbəbindən bu alt halqa daha yüksək vfet keyfiyyəti, aşağı çirklənmə ehtimalı və istənilən yüksək temperaturun çöküntüsü prosesində daha uzun xidmət həyatını təmin edir. Bu alt üzük SI, SIC və ya III-V materialı epitaxial böyümə ilə istifadə üçün hazırlanmışdır; İstəkli yarımkeçirici material istehsalında etibarlı, təkrarlanan rahatlıq təklif etmək üçün edilir.