Semicorex 1x2 düymlük qrafit vafli tutucular, yarımkeçirici vaflilərin epitaksial prosesi üçün yaxşı uyğun gələn 2 düymlük vaflilər üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı daşıyıcı komponentlərdir. Sənayedə qabaqcıl material təmizliyi, dəqiq mühəndislik və tələb olunan epiteksiya mühitində misilsiz etibarlılıq üçün Semicorex seçin.
Yarımkeçirici vafli istehsalında, yarımkeçirici cihazların sonrakı istehsalı üçün epitaksial təbəqənin vafli substratda yetişdirilməsi tələb olunur. Epitaksial böyümə prosesi temperaturun dəyişməsinə və çirklənməyə çox həssas olduğundan, etibarlıgofret həssaslarıkritik əhəmiyyət kəsb edir. Gofret epitaksial prosesində əvəzolunmaz dəstəkləyici hissələr olaraq, emal dəqiqliyi, istilik idarəetmə qabiliyyəti və çirklənməyə davamlılıq performansı yüksək keyfiyyətli vafli epitaksial böyüməyə nail olmaq üçün vacib amillərdir.
Xüsusi proseslər vasitəsilə sıx silisium karbid örtüklü matris kimi ultra incə taxıldan, yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanmış Semicorex 1x2 düymlük qrafit vafli həbləri aşağıdakı funksiyaları yerinə yetirir:
Semicorex 1x2"qrafitvafli tutucular müstəsna səth düzlüyünü və ölçü dəqiqliyini təmin edən dəqiq emal və müalicə xüsusiyyətinə malikdir. Bu, onların uyğun mövqedə möhkəm bərkidilməsini təmin edir və vafli epitaksial böyümə üçün sabit, düz dəstək platforması təmin edir.
Qrafit və SiC materiallarının əla istilik keçiriciliyi ilə Semicorex 1x2" qrafit vafli sensorları yarımkeçirici maddə üzrə sürətli və vahid istilik paylanmasını təmin edir. Temperatur qradiyentlərini minimuma endirməklə, Semicorex 1x2" qrafit vafli tutucuları qeyri-bərabər epitaksial keyfiyyət və stress konsentrasiyası kimi problemlərdən effektiv şəkildə qaça bilər.
Sıx silisium karbid örtüyü ilə örtülmüş Semicorex 1x2" qrafit vafli reseptorları əksər kimyəvi maddələrə effektiv şəkildə davamlıdır və onları materialın tez-tez aşındırıcı qazlara və kimyəvi buxarlara məruz qaldığı yüksək korroziyalı iş şəraitində tətbiqlər üçün uyğun edir.
Semicorexsilisium karbid örtüyüqrafit matrisi ilə yüksək yapışma gücünə malikdir, bu, korroziyaya və yüksək korroziyaya məruz qalan mühitlərin səbəb olduğu hissəciklərin tökülməsinə görə örtük ayrılması səbəbindən substratın çirklənməsi riskindən əhəmiyyətli dərəcədə qaça bilər.
Qrafit matrisləri əla istilik dayanıqlığı və mexaniki möhkəmlik nümayiş etdirsə də, epitaksial prosesin iş şəraitində korroziyaya və tozlaşmaya meyllidir, örtülməmiş qrafit matrislərinin ömrünü xeyli qısaldır. Sıx SiC örtükləri ilə qrafit matrisalarını tam əhatə etməklə, bizim 1×2" qrafit plasseptorlarımız üstün və etibarlı davamlılığa nail olur.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
|
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
| Struktur |
/ |
FCC β fazası |
| Orientasiya | Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
| Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
| Sərtlik | Vickers sərtliyi |
2500 |
| İstilik tutumu | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10⁻⁶K⁻¹ |
4.5 |
| Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300°C) |
430 |
| Taxıl ölçüsü |
µm |
2 – 10 |
| Sublimasiya temperaturu |
°C |
2700 |
| Bükülmə Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
| İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |