SiC örtüklü planetar həssaslar

Semicorex SiC ilə örtülmüş planetar həblər Aixtron G2 avadanlığında yarımkeçirici epitaksial artım üçün nəzərdə tutulmuş əvəzedilməz dəstəkləyici komponentdir ki, onlar vafliləri etibarlı şəkildə dəstəkləyə və planetar hərəkətlə fırlana bilirlər. Bu yolla, vafli səthi boyunca dəqiq istilik vahidliyi və vahid qaz paylanması uğurla əldə edilə bilər ki, bu da vaflilərdə yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqənin çökməsi ilə nəticələnir.

Semicorex SiC ilə örtülmüş planetar həssasların üstünlükləri

1. Çox vafli cib dizaynı

Semicorex SiC ilə örtülmüşdürplanetar həssaslardəqiq idarə olunan ölçülərə malik bir neçə vafli ciblərin vahid paylanması xüsusiyyəti. Bu vafli ciblər epitaksial böyümə prosesi zamanı vafli substratları möhkəm tuta bilir ki, bu da vafli substratların arzuolunmaz hərəkəti nəticəsində yaranan epitaksial prosesin dəyişmələrini effektiv şəkildə minimuma endirməyə imkan verir. Bundan əlavə, bu çox vafli cib dizaynı birdən çox vafli substratın eyni vaxtda bir prosesdə epitaksial çöküntüdən keçməsinə imkan verir və epitaksial böyümə prosesinin ümumi səmərəliliyini xeyli artırır.

2. Optimallaşdırılmış qaz axını dəliklərinin təşkili

Semicorex diqqətlə hazırlanmış qaz axını kanallarını özündə birləşdirirSiC qatlanmışepitaksial proses boyu vafli səthi boyunca qaz axınının dinamikasının və istilik vahidliyinin optimallaşdırılmasını təkmilləşdirən planetar susseptorlar. Bu düşünülmüş dizayn yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrə, vahid təbəqə qalınlığına və cihazın etibarlı ümumi performansına nail olmaq üçün vacib olan reaksiya kamerası daxilində qaz axını sürətinə və paylanmasına dəqiq nəzarət etməyə imkan verir.

3. Ultra yüksək təmizlik

Semicorex SiC ilə örtülmüş planetar sensorlar, yarımkeçiricilərin istehsalının ciddi təmizlik tələblərinə tam cavab verən ultra yüksək təmizlikli materiallar və son dərəcə aşağı çirklənmə səviyyələri ilə istehsal olunur. Onlar hətta epitaksial proseslərə xas olan yüksək temperatur və korroziyalı şəraitdə belə, metal qazının çıxarılması nəticəsində yaranan vafli çirklənməni effektiv şəkildə minimuma endirirlər.

4. Uzunmüddətli xidmət müddəti

Semicorex-in keyfiyyətə nəzarəti xammalın ciddi seçimimizdən başlayır. SiC ilə örtülmüş planetar sensorlar yarımkeçirici dərəcəli qrafit və silisium karbiddən dəqiqliklə hazırlanır, əla yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılıq təklif edərək, onları çətin yüksək temperatur, yüksək korroziyalı epitaksial iş şəraitinə mükəmməl dözür. Bu əla material xassələri ilə Semicorex SiC ilə örtülmüş planetar sensorlar öz ardıcıl performansını və struktur bütövlüyünü qoruya bilər və yüksək temperatur və yüksək korroziyaya məruz qalan reaksiya kameralarında onların səthinin zədələnməsinin və performansının azalmasının qarşısını ala bilər və bununla da SiC ilə örtülmüş planetar həssasların xidmət müddətini xeyli uzadır.