SiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar

Semicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar yarımkeçirici plastinaları sabit şəkildə dəstəkləmək və düzəltmək üçün yarımkeçirici epitaksial böyümə prosesində istifadə olunan əsas komponentlərdir. Yetkin istehsal imkanlarından və ən müasir istehsal texnologiyalarından istifadə edərək, Semicorex dəyərli müştərilərimiz üçün bazarda aparıcı keyfiyyət və rəqabətqabiliyyətli qiymətə SiC örtüklü epitaksial həssaslıq təmin etmək öhdəliyi götürür.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yarımkeçiricisubstratlarqaz axınının istiqaməti (üfüqi və şaquli), temperatur, təzyiq, substratın fiksasiyası və hissəciklərin çirklənməsi də daxil olmaqla bir çox kritik amillərin təsiri səbəbindən epitaksial çökmə zamanı MOCVD və ya CVD avadanlıqlarında birbaşa bazaya yerləşdirilə bilməz. Bu səbəbdən, epitaksial həssasların yarımkeçirici substratları dəstəkləmək və qorumaq üçün MOCVD/CVD sistemlərində reaksiya kamerasının mərkəzində yerləşdirilməsi tələb olunur, beləliklə, vibrasiya və ya mövqe yerdəyişməsi nəticəsində epitaksial böyümə keyfiyyətinin pozulmasının qarşısını alır.

Semicorex üçün matris materialı kimi yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə olunurSiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar, qabaqcıl CVD üsulları ilə onların səthinə qoyulmuş silisium karbid örtüyü ilə. Semicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar epitaksial təbəqənin formalaşması prosesində əvəzolunmaz komponentlərdir. Onların əsas rolu yarımkeçirici substratlarda epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün sabit və idarə olunan iş mühitini təmin etməkdir ki, bu da vafli səth keyfiyyətinin ardıcıllığını təmin edə bilər.

Semicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssasların xüsusiyyətləri

1. 1600℃ iş şəraitinə tab gətirmək üçün əla yüksək temperatur müqaviməti.

2.Yarımkeçirici substratlarda temperaturun vahid paylanmasını təmin etmək üçün sürətli istilik ötürülməsini təmin edən yüksək istilik keçiriciliyi.

3. Kimyəvi deqradasiyaya və korroziyaya qarşı güclü kimyəvi korroziya müqaviməti, substratların və epitaksial təbəqələrin proses çirklənməsinin qarşısını alır.

4.Üstün termal şok müqaviməti örtüyün çatlamasının və təbəqələşməsinin qarşısını almaq üçün.

5. Boşluqları və qüsurları minimuma endirən alt təbəqələrə sıx uyğunlaşan müstəsna səth hamarlığı.

6.Daha uzun xidmət müddəti, hissələrin dəyişdirilməsi və təmiri nəticəsində yaranan vaxt və iqtisadi itkilərin azaldılması.

Semicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssasların tətbiqi

Çoxlu əla üstünlükləri ilə, Semicorex SiC ilə örtülmüş epitaksial həssaslar epitaksial nazik təbəqələrin vahid və idarə olunan böyüməsini asanlaşdırmaqda əsas rol oynayır və yarımkeçirici epitaksial böyümə prosesində geniş tətbiq olunur.

1.GaN epitaksial artım

2.SiC epitaksial artım

3.Si epitaksial böyümə