SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex-in MOCVD Susseptorları mürəkkəb qrafit epitaksisi və dəqiq vafli idarə etmə tapşırıqları üçün sənətkarlıq, dözümlülük və etibarlılığın zirvəsini təcəssüm etdirir. Bu susseptorlar yüksək sıxlığı, müstəsna hamarlığı və üstün istilik nəzarəti ilə tanınır və onları tələbkar istehsal mühitləri üçün əsas seçim edir. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı MOCVD Susseptorlarının istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.
Daha çox oxuSorğu göndərinEpitaksial böyümə üçün Semicorex Plitəsi epitaksial proseslərin incəliklərini təmin etmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmış kritik element kimi dayanır. Fərqli spesifikasiyalara və üstünlüklərə cavab vermək üçün fərdiləşdirilə bilən təklifimiz unikal əməliyyat ehtiyaclarınıza tam uyğun gələn fərdi uyğunlaşdırılmış həllər təqdim edir. Biz ölçü dəyişikliyindən tutmuş örtük tətbiqindəki varyasyonlara qədər bir sıra fərdiləşdirmə variantları təklif edirik, bizi müxtəlif tətbiq ssenariləri üzrə performansı artıra bilən bir məhsul hazırlamaq və təchiz etmək üçün təchiz edirik. Biz Semicorex-də keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən Epitaksial Böyümə üçün yüksək performanslı Plitələr istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.
Daha çox oxuSorğu göndərinMOCVD üçün Semicorex Gofret Daşıyıcısı, Metal Üzvi Kimyəvi Buxar Depozitinin (MOCVD) dəqiq ehtiyacları üçün hazırlanmışdır, yüksək miqyaslı inteqral sxemlər üçün tək kristal Si və ya SiC-nin emalında əvəzsiz alət kimi ortaya çıxır. MOCVD tərkibi üçün Gofret Daşıyıcısı misilsiz təmizliyə, yüksək temperaturlara və aşındırıcı mühitlərə qarşı müqavimətə və təmiz atmosferi saxlamaq üçün üstün sızdırmazlıq xüsusiyyətlərinə malikdir. Biz Semicorex-də MOCVD üçün keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı Vafli Daşıyıcıların istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex tərəfindən SiC Boat Holder, fotovoltaik, elektron və yarımkeçirici sektorlardakı əsas rollar üçün açıq şəkildə SiC-dən yenilikçi şəkildə saxtalaşdırılıb. Dəqiqliklə hazırlanmış Semicorex SiC Qayıq Tutacağı hər mərhələdə vaflilər üçün qoruyucu, sabit mühit təklif edir - istər emal, istər tranzit, istərsə də saxlama. Onun vasvası dizaynı vafli deformasiyasını minimuma endirmək və əməliyyat məhsuldarlığını artırmaq üçün vacib olan ölçülərdə və bərabərlikdə dəqiqliyi təmin edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC Bələdçi Üzük tək kristal böyümə prosesini optimallaşdırmaq üçün hazırlanmışdır. Onun müstəsna istilik keçiriciliyi yüksək təmizlik və struktur bütövlüyü ilə yüksək keyfiyyətli kristalların əmələ gəlməsinə töhfə verərək vahid istilik paylanmasını təmin edir. Semicorex-in rəqabətədavamlı fiskal mülahizələrlə birləşən bazarda aparıcı keyfiyyətə sadiqliyi yarımkeçirici vafli daşıma tələblərinizi yerinə yetirmək üçün tərəfdaşlıq qurmaq istəyimizi gücləndirir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Epi-SiC Susceptor, detallara ciddi diqqət yetirməklə hazırlanmış komponent, xüsusilə epitaksial tətbiqlərdə qabaqcıl yarımkeçiricilərin istehsalı üçün əvəzolunmazdır. Dəqiqliyi və yeniliyi təcəssüm etdirən Epi-SiC Susceptor dizaynı yarımkeçirici materialların vafli üzərində epitaksial çökdürülməsini dəstəkləyir, performansda müstəsna səmərəliliyi və etibarlılığı təmin edir. Semicorex-in rəqabətədavamlı fiskal mülahizələrlə birləşən bazarda aparıcı keyfiyyətə sadiqliyi yarımkeçirici vafli daşıma tələblərinizi yerinə yetirmək üçün tərəfdaşlıq qurmaq istəyimizi gücləndirir.
Daha çox oxuSorğu göndərin