Planetar

Semikorex Planetary Suseptor, xüsusi olaraq Aixtron G5 + avadanlıq üçün xüsusi hazırlanmış yarımkeçirici epitaxy reaktorları üçün əvəzolunmaz bir komponentdir. Yüksək təmizlik qrafitindən tikilmiş vəsilikon karbid ilə örtülmüşdür (SIC), bu səbirçi üstün istilik sabitliyi, müstəsna kimyəvi müqavimət və yüksək temperaturlu mühitlərdə misilsiz performans təmin edir.

Aixtron G5 + Epitaxy reaktoru, Gan, SIC və digər mürəkkəb yarımkeçirici artım prosesləri üçün sənayedə bir meyar kimi dayanır. Planetary Suseptor, qaz axınının optimallaşdırmasında, dəqiq vafnik fırlanmasını, dəqiq temperatur nəzarətini qorumaq və epitaksial təbəqələrin vahid çökməsinə nail olmaqla, qaz axınını optimallaşdırmaqda əsasdır. Onun yenilikçi dizaynı, yüksək həcmli istehsal mühitləri üçün ideal seçim etmək üçün proses təkrarlılığını əhəmiyyətli dərəcədə artırır.

Əsas xüsusiyyətlər  

- Qabaqcıl material tərkibi: SIC örtüklü yüksək təmizlik qrafitindən hazırlanmış, geniş proses şərtlərinə gücləndirilmiş davamlılığı və müqavimət göstərərək.  

- Optimallaşdırılmış istilik performansı: yüksək dəqiqlikli epitaxial təbəqə böyüməsi üçün kritik olan vahid istilik paylamasını təmin edir.  

- Kimyəvi müqavimət: SIC örtükləri, həssaslığın ömrünü uzataraq və proses təmizliyini qoruyan qrafit oksidləşməsinin qarşısını alır.  

- Həssas mühəndislik: Aixtron G5 + sistemlərinin sərt tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmış, sorunsuz inteqrasiya və optimal reaktor səmərəliliyini təmin etmək üçün hazırlanmışdır.  

- Yüksək səth vahidliyi: hissəciklərin çirklənməsini minimuma endirir, yarımkeçirici istehsalda üstün vafnik keyfiyyəti və daha yüksək məhsuldarlığı dəstəkləyir.  

Planetariyamızın useptorunun üstünlükləri  

- Genişləndirilmiş Xidmət Həyatı:Sic örtükGeyinmə və gözyaşardıcı azaldır, nəticədə aşağı dəyişdirmə tezliyi və azaldılmış əməliyyat xərcləri azalır.  

- Təkmilləşdirilmiş proses sabitliyi: yüksək keyfiyyətli vafli istehsalına səbəb olan ardıcıl istilik və minimal termal gradientləri təmin edir.  

- Uyğunluq və özelleştirme: Xüsusi Aixtron G5 + proses tələblərinə cavab vermək üçün standart və xüsusi dizaynlarda mövcuddur.  

QrafitParçalar yarımkeçirici prosesində əvəzolunmaz və çox vacib rol oynayır. Qrafit materiallarının keyfiyyəti hazır məhsulların keyfiyyətinə böyük təsir göstərir. Qrafit toplu ardıcıllığımız və maddi homojenliyimiz istehsal prosesi vasitəsilə idarə edilə bilər və zəmanətlidir.

1. Kiçik toplu istehsal, karbonizasiya sobası yalnız 50 kubmetr olan kiçik bir soba istifadə edir

2. Hər bir material parçası izlənilir və izlənilir

3. Temperatur fərqinin çox kiçik bir sıra saxlanılmasını təmin etmək üçün soba məkanında çox nöqtəli temperaturun monitorinqi

4. Temperatur fərqinin çox kiçik bir yerdə saxlanılmasını təmin etmək üçün material üzərində çox nöqtəli temperaturun monitorinqi

Semikorex Planetary Suseptor, üstün istilik sabitliyi, kimyəvi müqavimət və dəqiq performans təklif edən Aixtron G5 + reaktorları üçün mükafat həllidir. Ən çox tələb olunan yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün mühəndis, daha yüksək gofret məhsuldarlığı, çirklənmə riskini minimuma endirir və avadanlıq ömrünü uzadır. Epitaxy sisteminizi misilsiz nəticələr üçün üst səviyyəli bir susepsiya ilə təkmilləşdirin.