TaC örtüklü qrafit yüksək təmizlikli qrafit substratının səthini xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesi ilə incə tantal karbid təbəqəsi ilə örtməklə yaradılmışdır.
Tantal karbid (TaC) tantal və karbondan ibarət bir birləşmədir. Metal elektrik keçiriciliyinə və olduqca yüksək ərimə nöqtəsinə malikdir, bu da onu gücü, sərtliyi, istilik və aşınma müqaviməti ilə tanınan odadavamlı keramika materialına çevirir. Tantal karbidlərinin ərimə nöqtəsi təmizlikdən asılı olaraq təxminən 3880 ° C-də zirvələrə çatır və ikili birləşmələr arasında ən yüksək ərimə nöqtələrindən birinə malikdir. Bu, daha yüksək temperatur tələbləri MOCVD və LPE kimi mürəkkəb yarımkeçiricilərin epitaksial proseslərində istifadə olunan performans imkanlarını aşdıqda onu cəlbedici alternativ edir.
Semicorex TaC Coating material məlumatları
Layihələr |
Parametrlər |
Sıxlıq |
14,3 (qm/sm³) |
Emissiya qabiliyyəti |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sərtlik (HK) |
2000 |
Müqavimət (Ohm-sm) |
1×10-5 |
İstilik Sabitliyi |
<2500 ℃ |
Qrafit Ölçü Dəyişməsi |
-10~-20um (istinad dəyəri) |
Kaplama Qalınlığı |
≥20um tipik dəyər (35um±10um) |
|
|
Yuxarıdakılar tipik dəyərlərdir |
|
Semicorex TaC ilə örtülmüş suseptor (Tantal karbidlə örtülmüş qapaq) yarımkeçiricilərin istehsalında və digər yüksək temperatur tətbiqlərində istifadə olunan yüksək ixtisaslaşmış komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Tantal Carbide Coating Chuck yüksək temperatur və yüksək gərginlikli mühitlərdə istifadə üçün nəzərdə tutulmuş dəqiqliklə hazırlanmış komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex CVD TaC örtük halqası müstəsna aşınma müqaviməti, istilik sabitliyi və kimyəvi təsirsizliyi tələb edən tələbkar tətbiqlər üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex TaC Kaplama Planet Plitəsi xüsusi olaraq MOCVD sistemləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon yarımkeçirici istehsalında yüksək performanslı epitaksial proseslər üçün hazırlanmış xüsusi komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Tantal Carbide Coating Halfmoon Part epitaksial çökmə prosesində istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yüksək ixtisaslaşmış komponentdir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərin