TaC örtüklü vafli çubuq

Semicorex TaC Coating Gofre Chuck, qrafit substrata tətbiq olunan tantal karbid (TaC) örtüyü ilə hazırlanır. Materialların diqqətlə seçilməsi və dəqiq mühəndislik bu məhsulun sənayedəki əhəmiyyətini vurğulayır.

Qrafit üzərində TaC örtüyünün istifadəsinin əsas üstünlüyü bu materialların termal genişlənmə xüsusiyyətlərindədir. İstilik genişlənmə əmsalı (CTE) materialın qızdırıldığı zaman nə qədər genişləndiyini ölçür. Yarımkeçirici istehsalında, örtüyün CTE-nin substratınkinə yaxından uyğun olması çox vacibdir. Əhəmiyyətli uyğunsuzluq gərginliklərə və örtükün nəticədə uğursuzluğuna səbəb ola bilər. CTE-si TaC-yə çox yaxın olan qrafit materialı seçməklə biz TaC örtüyünün qrafit substratına möhkəm yapışmasını təmin edirik. Bu uyğunluq təbəqələşmə riskini azaldır və TaC Coating Wafer Chuck-ın istismar müddətini uzadır.

TaC örtüyü, epitaksiya prosesinin təkrar dövrləri zamanı dəqiq və sabit performansı qorumaq üçün çox vacib olan TaC Coating Gofre Chuck-ın sərtliyini və aşınma müqavimətini artırır. TaC-nin yüksək ərimə nöqtəsi TaC Coating Wafer Chuck-ın yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı yaranan həddindən artıq temperaturlara pisləşmədən tab gətirməsini təmin edir. Bundan əlavə, TaC-nin kimyəvi təsirsizliyi əsas qrafiti aşındırıcı qazlardan və epitaksiya prosesində istifadə olunan digər reaktiv maddələrdən qoruyur.

Praktik olaraq, bu material xüsusiyyətləri əhəmiyyətli performans yaxşılaşmasına səbəb olur. TaC Coating Wafer Chuck-ın gücləndirilmiş davamlılığı və sabitliyi daha az dəyişdirmə tələb edir, dayanma müddətini və texniki xidmət xərclərini azaldır. Yüksək istilik sabitliyi hətta ən tələbkar şərtlərdə belə davamlı performans təmin edir və yarımkeçirici istehsalında daha yüksək məhsuldarlığa kömək edir.

Semicorex TaC Coating Wafer Chuck qabaqcıl materiallar mühəndisliyi və düşünülmüş dizaynı nümayiş etdirir. Tantal karbid və qrafitin xassələrini birləşdirərək, biz yarımkeçirici epitaksiya proseslərinin ciddi tələblərinə cavab verən məhsul hazırlamışıq. Onun üstün davamlılığı, istilik dayanıqlığı və kimyəvi müqaviməti onu yarımkeçiricilər istehsalı sənayesində əvəzolunmaz komponentə çevirir. Bu innovativ yanaşma təkcə performansı və etibarlılığı artırmaqla yanaşı, daha davamlı və sərfəli istehsal əməliyyatlarına da töhfə verir. Yarımkeçirici sənayesi inkişaf etməyə davam etdikcə, TaC Coating Wafer Chuck gələcək nəsil texnologiyalarının çağırışlarına cavab verməyə hazırdır.