SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Əgər sizə müstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylayıcı xassələrə malik olan qrafit qəbuledicisinə ehtiyacınız varsa, Semicorex İnduktiv Qızdırılan Barrel Epi Sistemini nəzərdən keçirin. Onun yüksək təmizlikli SiC örtüyü yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə üstün qoruma təmin edir və onu yarımkeçiricilərin istehsalında istifadə üçün ideal seçim edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinMüstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylama xüsusiyyətləri ilə Yarımkeçirici Epitaksial Reaktor üçün Semicorex Barrel Strukturu LPE proseslərində və digər yarımkeçirici istehsal proqramlarında istifadə üçün mükəmməl seçimdir. Onun yüksək təmizlikli SiC örtüyü yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə üstün qoruma təmin edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinYarımkeçirici istehsal proqramlarında istifadə üçün yüksək performanslı qrafit qripi qıcıqlandırıcı axtarırsınızsa, Semicorex SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək çənəsi ideal seçimdir. Onun müstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylama xassələri onu yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə etibarlı və ardıcıl performans üçün əsas seçim edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinYüksək ərimə nöqtəsi, oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılığı ilə Semicorex SiC ilə örtülmüş Kristal Böyümə Qabağı, tək kristal artım tətbiqlərində istifadə üçün ideal seçimdir. Onun silisium karbid örtüyü əla düzlük və istilik paylama xüsusiyyətlərini təmin edir, bu da onu yüksək temperaturlu mühitlər üçün ideal seçim edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinƏgər sizə ən tələbkar yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə belə etibarlı və ardıcıl fəaliyyət göstərə bilən qrafit qəbuledicisinə ehtiyacınız varsa, Maye Fazalı Epitaksiya üçün Semicorex Barrel Susseptor mükəmməl seçimdir. Onun silisium karbid örtüyü əla istilik keçiriciliyi və istilik paylanması təmin edərək, yarımkeçiricilərin istehsalında müstəsna performansı təmin edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Silikon Karbidlə örtülmüş Qrafit Barrel yüksək istilik və korroziyaya davamlılıq tələb edən yarımkeçiricilərin istehsalı üçün mükəmməl seçimdir. Onun müstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylama xüsusiyyətləri onu LPE proseslərində və digər yüksək temperatur mühitlərində istifadə üçün ideal hala gətirir.
Daha çox oxuSorğu göndərin