Epitaksial böyümə üçün MOCVD Həssaslığı

Semicorex, Epitaksial Böyümə üçün MOCVD Susceptorun aparıcı təchizatçısı və istehsalçısıdır. Məhsulumuz yarımkeçirici sənayedə, xüsusən də vafli çipdə epitaksial təbəqənin böyüməsində geniş istifadə olunur. Qəbuledicimiz MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Məhsul yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə sabit edir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Epitaksial böyümə üçün MOCVD Susseptorumuzun üstünlüklərindən biri onun bütün səthdə örtülməsini təmin etmək və soyulmadan qaçmaq qabiliyyətidir. Məhsul 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitliyi təmin edən yüksək temperatur oksidləşmə müqavimətinə malikdir. Məhsulumuzun yüksək təmizliyi yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə əldə edilir. İncə hissəcikləri olan sıx səth məhsulun turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərdən korroziyaya yüksək davamlı olmasını təmin edir.
Epitaksial Böyümə üçün MOCVD Susseptorumuz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
Epitaksial böyümə üçün MOCVD Susseptorumuz haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.

Epitaksial böyümə üçün MOCVD Susseptorunun Parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

Epitaksial böyümə üçün MOCVD Susseptorunun xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın