SiC ilə örtülmüş MOCVD qəbuledicisi

Semicorex SiC Coated MOCVD Susceptor-un aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Məhsulumuz vafli çipində epitaksial təbəqənin böyüməsi üçün yarımkeçirici sənayelər üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Yüksək təmizlikli Silikon Karbidlə örtülmüş qrafit daşıyıcı MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Bizim susseptorumuz MOCVD avadanlıqlarında geniş istifadə olunur, yüksək istilik və korroziyaya davamlılığı və ekstremal mühitlərdə böyük sabitliyi təmin edir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

SiC ilə örtülmüş MOCVD süpürgəmizin ən əhəmiyyətli xüsusiyyətlərindən biri soyulmadan bütün səthin örtülməsini təmin etməsidir. Məhsul yüksək temperaturda oksidləşmə müqavimətinə malikdir, 1600 ° C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir. Yüksək təmizliyə yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürmə üsulundan istifadə etməklə nail olunur. Məhsul incə hissəcikləri olan sıx bir səthə malikdir, bu da onu turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərdən korroziyaya yüksək dərəcədə davamlı edir.
SiC ilə örtülmüş MOCVD qoruyucumuz istilik profilinin bərabərliyinə zəmanət verən ən yaxşı laminar qaz axını modelini təmin edir. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir. Semicorex rəqabətli qiymət üstünlüyü təklif edir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Komandamız əla müştəri xidməti və dəstəyi təmin etməyə sadiqdir. Biz biznesinizin böyüməsinə kömək etmək üçün yüksək keyfiyyətli və etibarlı məhsullar təqdim edərək uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağa sadiqik.

SiC ilə örtülmüş MOCVD qəbuledicisinin parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

SiC ilə örtülmüş MOCVD zəbtinin xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın