SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex SiC örtüklü epitaksial reaktor lüləsi yüksək təmizlikdə SiC ilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli qrafit məhsuludur. Mükəmməl sıxlığı və istilik keçiriciliyi onu LPE proseslərində istifadə üçün ideal seçim edir, korroziyalı və yüksək temperaturlu mühitlərdə müstəsna istilik paylanması və mühafizəni təmin edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor xüsusi olaraq LPE prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək təmizlikli SiC ilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli qrafit məhsuludur. Mükəmməl istilik və korroziyaya davamlılığı ilə bu məhsul yarımkeçiricilərin istehsalında istifadə üçün mükəmməldir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex-in Epitaksial Reaktor Kamerası üçün SiC ilə örtülmüş çəllək yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün yüksək etibarlı həlldir, üstün istilik paylanması və istilik keçiricilik xüsusiyyətlərinə malikdir. O, həmçinin korroziyaya, oksidləşməyə və yüksək temperaturlara yüksək davamlıdır.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor yüksək təmizlikdə SiC ilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli qrafit məhsuldur və müstəsna istilik və korroziyaya davamlılıq təklif edir. Xüsusilə yarımkeçiricilər istehsalı sənayesində LPE tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex SiC örtüklü EPI 3 1/4" Barrel Susceptor əla istilik sabitliyi və kimyəvi hücumlara qarşı müqavimət təmin edir, qrafit substrat isə üstün istilik ötürmə xüsusiyyətləri təqdim edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex, Çində SiC Coated Barrel Susceptor-un geniş miqyaslı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Biz silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi yarımkeçirici sənayelərə diqqət yetiririk. Məhsullarımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərin