MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptor

Semicorex, Çində Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor-un geniş miqyaslı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Biz silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi yarımkeçirici sənayelərə diqqət yetiririk. MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptorumuz yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

MOCVD üçün Semicorex SiC Örtülü Qrafit Susseptor, vafli çipində epiksial təbəqənin böyüməsi prosesində istifadə olunan yüksək təmizlikli Silikon Karbidlə örtülmüş qrafit daşıyıcısıdır. MOCVD-də mərkəz lövhəsidir, dişli və ya üzük formasıdır. MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptor yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, ekstremal mühitdə böyük sabitliyə malikdir.
Semicorex-də biz müştərilərimizə yüksək keyfiyyətli məhsul və xidmətlər təqdim etməyə sadiqik. Biz yalnız ən yaxşı materiallardan istifadə edirik və məhsullarımız ən yüksək keyfiyyət və performans standartlarına cavab vermək üçün hazırlanmışdır. MOCVD üçün SiC ilə örtülmüş qrafit həbimiz istisna deyil. Yarımkeçirici vafli emalı ehtiyaclarınızda sizə necə kömək edə biləcəyimizi öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.

MOCVD üçün SiC Örtülü Qrafit Susseptorunun Parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

MOCVD üçün SiC ilə örtülmüş qrafit tutucunun xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın