Semicorex-in MOCVD Reaktorları üçün Susseptorları yarımkeçirici sənayesində silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi müxtəlif tətbiqlər üçün istifadə olunan yüksək keyfiyyətli məhsullardır. Məhsulumuz dişli və ya üzük şəklində mövcuddur və yüksək temperaturda oksidləşmə müqavimətinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur, bu da onu 1600°C-yə qədər temperaturda sabit edir.
MOCVD Reaktorları üçün Qəbuledicilərimiz yüksək təmizliyi təmin edərək yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanır. Məhsulun səthi sıx, incə hissəciklərə və yüksək sərtliyə malikdir, bu da onu turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərə qarşı korroziyaya davamlı edir.
MOCVD Reaktorları üçün Qəbuledicilərimiz bütün səthlərin örtülməsini təmin etmək, soyulmağın qarşısını almaq və ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Məhsul istilik profilinin bərabərliyinə zəmanət verir və proses zamanı hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alır, yüksək keyfiyyətli nəticələr verir.
Semicorex-də biz müştəri məmnuniyyətinə üstünlük veririk və sərfəli həllər təqdim edirik. Biz sizin uzunmüddətli partnyorunuz olmağı, yüksək keyfiyyətli məhsullar və müstəsna müştəri xidməti təqdim etməyi səbirsizliklə gözləyirik.
MOCVD reaktorları üçün qəbuledicilərin parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
MOCVD üçün SiC örtüklü Qrafit Susseptorunun xüsusiyyətləri
- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın