Tək Kristal Silikon Elektrodlar

Bir kristal silisium elektrodlarıadətən aşındırma kamerasının yuxarı hissəsində quraşdırılır və yuxarı elektrod kimi xidmət edir. Təkkristallı silikon elektrodların səthində bərabər paylanmış mikrodəliklər var ki, bu da qazı reaksiya kamerasına bərabər şəkildə çatdıra bilir. Aşınma prosesi zamanı onlar aşağı elektrodla işləyir və vahid elektrik sahəsi yaradır ki, bu da dəqiq aşındırma üçün ideal iş şəraitini təmin edir.

Diqqətli material seçimi

Semicorex, sənayedə qabaqcıl məhsul performansını və keyfiyyətini təklif edərək, tək kristal silikon elektrodlar istehsal etmək üçün MCZ tərəfindən yetişdirilmiş yüksək keyfiyyətli monokristal silisiumunu seçir.

1. Ultra yüksək təmizlik

Semicorex monokristal silisium elektrodları 99,9999999%-dən çox ultra yüksək təmizliyə malikdir, bu da daxili metal çirklərinin tərkibinin son dərəcə aşağı olması deməkdir.

2. Müstəsna müqavimət vahidliyi

Adi CZ monokristal silisiumundan fərqli olaraq, Semicorex tərəfindən istifadə edilən MCZ tərəfindən yetişdirilmiş monokristal silikon 5%-dən aşağı müqavimət vahidliyinə nail olur. Onun aşağı resursu. 0,02 Ω·sm-dən aşağı idarə olunur, orta res. 0,2 ilə 25Ω·sm arasındadır və yüksək res. 70-90 Ω·sm arasındadır (istək əsasında fərdiləşdirmə mümkündür).

3. Əla material quruluşu

MCZ metodu ilə yetişdirilən tək kristal silisium daha sabit struktur və daha az qüsur təklif edir ki, bu da Semicorex monokristal silisium elektrodlarını əla plazma korroziyasına qarşı müqavimət göstərir və sərt aşındırma iş şəraitinə tab gətirir.

---

Yüksək standart emal dəqiqliyi

Semicorextək kristal silisiumelektrodlar silikon külçədən hazır məhsula qədər tam istehsal prosesi vasitəsilə hazırlanır, o cümlədən dilimləmə, səthin üyüdülməsi, deliklərin qazılması, yaş aşındırma və səthin cilalanması. Semicorex, elektrodların diametrinin, qalınlığının, səthinin planarlığının, deşiklərin aralığının və diyafrağının ideal dözümlülük daxilində saxlanmasını təmin etmək üçün hər addımda ciddi dəqiqlik nəzarətini dəstəkləyir.

1. Mikrodəliklərin işlənməsi

Bir kristal silisium elektrodlarındakı mikro deşiklər hamar və çapıqsız daxili divarları olan vahid məsafə və ardıcıl diametrlərə (0,2 ilə 0,8 mm arasında dəyişir) malikdir. Bu, aşındırıcı qazın vahid və sabit tədarükünü effektiv şəkildə təmin edir, beləliklə, vafli aşındırmanın vahidliyini və dəqiqliyini təmin edir.

2. Emal dəqiqliyi

Semicorex monokristal silisium elektrodlarının emal dəqiqliyi 0,3 mm daxilində idarə olunur və onların cilalanma dəqiqliyi 0,1 µm-dən aşağı ciddi şəkildə idarə oluna bilər və incə üyüdülmə 1,6 µm-dən azdır.