Silikon injektoru

Semicorex Silicon Injector, Polysilikon və nazik film çökməsi üçün aşağı təzyiqli kimyəvi buxar çöküntüsündə (LPCVD) sistemlərinin dəqiq çatdırılması üçün hazırlanmış bir ultra yüksəklikli bir komponentdir. 9n (99.9999999%) tikilmişdirYüksək saflıq silikon, bu incə boru injektoru, üstün təmizlik, kimyəvi maddələrlə uyğunluq və həddindən artıq proses şəraitində istilik sabitliyi təmin edir.

Yarımkeçirici istehsal, daha yüksək inteqrasiya səviyyəsinə və çirklənməyə daha sərt nəzarət etmək üçün inkişaf etməyə davam etdiyi üçün, çökmə kamerasında hər qaz çatdırılma komponentinin də əvvəlkindən daha yüksək standartlara cavab verməsi tələb olunacaq. Semikorex Silikon injektoru bu tip tələblərin bu tip tələbləri üçün, film keyfiyyətinə və ya gofret məhsuldarlığını mənfi təsir göstərən çirklənmə tətbiq etmədən, sabit və vahid bir şəkildə qazlı materiallar üçün xüsusi hazırlanmışdır.

Yarımkeçirici istehsal, daha yüksək inteqrasiya səviyyəsinə və çirklənməyə daha sərt nəzarət etmək üçün inkişaf etməyə davam etdiyi üçün, çökmə kamerasında hər qaz çatdırılma komponentinin də əvvəlkindən daha yüksək standartlara cavab verməsi tələb olunacaq. Semikorex Silikon injektoru bu tip tələblərin bu tip tələbləri üçün, film keyfiyyətinə və ya gofret məhsuldarlığını mənfi təsir göstərən çirklənmə tətbiq etmədən, sabit və vahid bir şəkildə qazlı materiallar üçün xüsusi hazırlanmışdır.

Silikon injektorunun xüsusi boru quruluşu, vahid vafli yükü üzərində bir nəzarət və bərabər bir qaz paylamasına imkan verir. Mikro mühəndisli orifices və hamar daxili səth, sobada ardıcıl film qalınlığı və sabit çöküntü nisbətləri üçün vacib olan Laminar qaz dinamikası ilə birlikdə reproduxarin qazı nisbətlərini təmin edir. İstər Silan (SIH₄), DichloroSilane (Sih₂cl₂) və ya digər reaktiv qazlar olsun, injektor keyfiyyətli polisilicon film böyüməsi üçün etibarlı performans və dəqiqlik təklif edir.

Mükəmməl istilik sabitliyi səbəbindən, semikorex silikon injektoru 1250 ° C-ə qədər temperaturdan məhrum ola bilər və yüksək temperaturlu LPCVD-nin çox dövrü ərzində deformasiya, çatlama və ya çırpmaq qorxusu olmadan idarə oluna bilər. Bundan əlavə, oksidləşmə və kimyəvi inertliliyin yüksək müqaviməti, texniki xidmətin azaldılması və proses sabitliyini azaltmaq zamanı oksidləşmə, azaldılması və ya aşınma şəraitində uzun müddət davam edir.

Hər bir injektor, ən çox mikron ölçülü tolerantikasiyalara və ultra hamar rəngli toleranslara və ultra hamar rənglərə nail olmaq, cnc emal və cilalama istifadə edərək istehsal olunur. Yüksək keyfiyyətli səthin bitirməsi, qazı tökülməsinin, zonitsiz istilik və təzyiq dəyişikliyində ardıcıl axın xüsusiyyətlərini təmin edərkən hissəciklərin çox az olması üçün çox az yaradanın yaranıb. Həssas istehsal, möhkəm idarə olunan prosesləri, etibarlı nəticələr və buna görə ardıcıl avadanlıq performansını təmin edir.

SemikoreX, xüsusi uzunluqlarda, diametr və nozzle konfiqurasiyalarında mövcud olan silikon injektorları istehsal edir. Birdəfəlik reaktor həndəsi və ya çökmə reseptləri üçün qaz dağılması nümunələrini artırmaq üçün hazırlanmış həllər hazırlana bilər. Hər bir injektor, semisküdçü səviyyəsinin ən yüksək səviyyəsini təmin etmək üçün təmizlik və təmizlik üçün yoxlanılır və təsdiqlənirsilikon komponentləri.

Semikorex Silikon İnjektor bugünkü yarımkeçirici istehsalda tələb olunan dəqiqliyi və saflığı təmin edir. 9n ultra yüksək saflıq silikon, mikron səviyyəli emal dəqiqliyi və yüksək istilik və kimyəvi sabitlik, LPCVD Polysilicon'u yerləşdirərkən vahid qaz paylanması, aşağı hissəcik nəsil və müstəsna etibarlılığı təmin edir.