Silikon qalxan halquşu

Semikorex Silikon Shield Ring, oyun prosesində kritik yarımkeçirici komponentdir. Onun əsas funksiyası elektrodu əhatə etmək və həddindən artıq plazma sızmasının qarşısını almaqdır. 9n (99.9999999% -dən çox olan bir material saflığı ilə, Shield Ring həm tək kristal, həm də çoxrristal tərəfindən edilə bilərsilikon, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal prosesləri ilə ultra təmiz əməliyyat və etibarlı uyğunluğu təmin etmək.

CCP / ICP etching prosesində dəqiq plazma nəzarəti, effektiv, vahid etch dərəcəsi və boşluq keyfiyyəti üçün vacibdir. İstədiyiniz etching sahəsindən kənarda nəzarətsiz plazma sızması səth eroziyası və çirklənmə və ya kameranın içərisindəki komponentlərə zərər verə bilər. Silikon Shield Ring, bu problemin effektiv, sadə bir həlli, elektrodun xarici perimetri üzərində qoruyucu bir maneə yaratmaq, hədəf sahəsinin kənarındakı plazma yalnız istədiyiniz ərazidə məhdudlaşdırılması üçün yaradılan bu problemin təsirli, sadə bir həllidir. Silikon Shield Ring də plazma paylanmasını sabitləşdirmək üçün xarici bir elektrod kimi fəaliyyət göstərir və gofret səthində daha vahid enerjini aktivləşdirmək üçün fəaliyyət göstərir.

Silikonun istilik və elektrik xüsusiyyətləri daha sonra ayırma qalxan halqasının performansını dəstəkləyir. Yüksək proses temperaturuna qarşı müqaviməti, uzadılmış plazma ifşa zamanı struktur bütövlüyünü təmin edir və elektrik keçiriciliyi komponentin elektrod sistemindəki bir element kimi düzgün işləməsinə imkan verir. Birlikdə, bu tətbiqlər plazma həbsxanasını artırır və enerjinin vahidliyini artırır, bu da ehtiyatsız etch profillərinə imkan verir.

Mexanik tolerantlıq, silikon etching qalxan halqasının digər diqqətəlayiq bir xüsusiyyətidir. Sıx tolerantlara hazır olmaqla, elektrod ətrafındakı dəqiq yerləşdirilməsini və otağın boşluğu və həndəsəsini qoruyur. Bu mexaniki dəqiqlik fərdi qaçışlar arasında daha az dəyişkənlik üçün təkrarlanan proses şəraiti yaradır və yüksək həcmli yarımkeçirici istehsal etməyə imkan verir. Materialın özü plazma mühiti ilə əla uyğunluğu var; Buna görə quruluşunu aşmaq onu, adətən uzun xidmət həyatı və işləmə işində sabitlik təmin etməyə imkan verir.

Davamlılıq və xərc effektivliyi daha iki qiymətli faydadır. Palatanın lazımsız hissələrini plazmadan qoruyaraq, qalxan halqası, istismar səylərini azaldan və ümumi əməliyyat işini artıran digər kritik komponentlərdə aşınmasını azaldır. Uzun xidmət həyatı və daha az tez-tez dəyişdirmə, məhsuldarlığı artırmaq və bununla da əməliyyat xərclərini azaltmaq üçün yarımkeçirici fabs üçün səmərəli bir həll yolu halına gətirir.

BuSilikonShield Ring, hər vasitə konfiqurasiyası və proses xüsusiyyətləri üçün xüsusi olaraq bir neçə ölçüdə və həndəsə içərisində olan bir neçə ölçüdə və həndax, istehsal edən bir çox fərqli plazma tirching kameralarında, hələ də optimal uyğunluq əldə edərkən bir çox fərqli plazma otağı yerləşdirilməsi üçün bir neçə ölçülü və həndəsə. Bundan əlavə, səth müalicəsi və cilalama, ultra təmiz istehsal standartları üçün hissəcik nəslini daha da azaltmaq üçün istifadə edilə bilər.