Silikon piyalə gəmisi

Semikorex Silikon Pedestal Boat, oksidləşmə, yayılma və LPCVD (aşağı təzyiqli kimyəvi buxarlanma) kimi yüksək temperatur yarımkeçirici prosesləri dəstəkləmək üçün yüksək saflıq və dəqiqliklə mühəndis, yüksək saflıq və dəqiqliklə hazırlanmış bir ultra təmiz bir operatordur. Bu gofret daşıyıcısı 9n (99.9999999%) -dən hazırlanmışdırYüksək saflıq silikonİstisna təmizliyini, genişləndirmə sabitliyinin istilik əmsalını və ultra təmiz mühitlərdə vafli dəstəyi və ardıcıl proses nəzarətinin mexaniki dəqiqliyini təmin etmək.

Yarımkeçirici cihaz həndəsi kiçilməyə davam etdikcə, ultra təmiz və istilikli vafli idarəetmə komponentlərinə ehtiyac yoxdur, bu tələbatda heç vaxt olmayıb. Silikon piyinalı qayıq, bu tələbləri 1100 ° C və 1250 ° C arasında fəaliyyət göstərən qabaqcıl soba sistemlərində istifadə ediləcək yüksək ölçülü dəqiqlik və müqayisə olunmayan saflıqla bu tələbləri həll edir.

Silikon qayıq quruluşu, groove bar forması, yiv diş uzunluğu, forma, əyilmə bucağı və ümumi gofret yükləmə qabiliyyəti də daxil olmaqla müştəri tələblərinə cavab vermək üçün düzəldilə bilər. Yüksək temperaturlu silikon gəmiləri silikon gofretlerin təmas ziyanınını effektiv şəkildə azalda bilər, proses məhsuldarlığını artırır. Onun yüksək tempi "sürüşmədən qüllələr" dizaynı yalnız dəstəkləyici dişin ucunda gofreti dəstəkləyir. Silikon karbidlə müqayisədə, silikon nisbətən daha az çətindir, ehtiyatsızlığa zərər verir, bununla da istehsal xərclərini effektiv şəkildə azaltmaqla mexaniki ziyanı azaldır.

Piyada gəmisi mövcuddurİstisna təmizliyini, genişləndirmə sabitliyinin istilik əmsalını və ultra təmiz mühitlərdə vafli dəstəyi və ardıcıl proses nəzarətinin mexaniki dəqiqliyini təmin etmək.Silikon materialları ilə əlaqəli çirklənmə risklərini aradan qaldırmaq üçün. Platforma, yüksək temperatur prosesləri zamanı istenmeyen reaksiyaları və ya ion diffuziyasını minimuma endirən aktiv istifadə olunan gofrets kimi eyni kimyəvi tərkibi bölüşür. Maddi homojenlik, təkrar istehsal dövrləri vasitəsilə ardıcıl yüksək vafli keyfiyyət və yüksək cihaz məhsuldarlığı üçün hissəciklərin və metal çirklərin fiziki şəxsiyyətini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

Semikorex Silikon Pedestal Boat, şaquli dəstək strukturları ilə birlikdə hazırlanmış vafli yuvalarını, gofretlerin istilik dövrü zamanı mükəmməl uyğunlaşmasını və aralıqda qalmasını təmin edən dəqiq dizayn edilmiş vafli yuvalar xüsusiyyətlərinə malikdir. Ölçüsü sabitliyi, piyada gəmisinin hər gofreti yaxşı temperatur və qaz paylamasını təmin edərək, piyada gəmisinin üst-üstə düşməyəcəyini, əyilməyəcəyini və həddindən artıq temperaturda əyilməyəcəyini, əyilməyəcəyini və ya həddindən artıq temperaturun olmasını təmin etməsini təmin edir. Bu ölçülü sabitlik, oksidləşmə və yayılma zamanı qalınlığı və aşağı qüsur sayılması və daha yaxşı proses təkrarlanması ilə yanaşı, daha yaxşı prosesi təmin etmək və daha yaxşı proseslərin təmin edilməsi üçün dərhal, müsbət təsir göstərir.

Silikon postestal gəmisinin əsas faydası optimallaşdırılmış mexaniki və istilik xüsusiyyətləridir. SIC və ya Kvars ilə müqayisədə silikonun sərtliyi, qızdırılan genişlənmə zamanı gofret vibrasiyası və ya hərəkət səbəbindən mikro cızıq və hissəcik nəsillərin azalmasına kömək edəcəkdir. Bu, xüsusən də arxa tərəfdəki həssas gofretlər üçün doğrudur, burada gofret səthinin bütövlüyü məhsul və cihaz performansının vacibdir.

Pedestal gəmisi yaxşı istilik keçiriciliyi və bir çox istilik və soyutma dövrü olan forma və struktur sağlamlığı qoruyarkən istilik ötürmə xüsusiyyətlərini təmin edən istilik ötürülməsi təmin edən aşağı istilik icrası var. Sağlam dizayn eyni zamanda ekstremal soba şərtləri vasitəsilə minimal deformasiya ilə uzun ömür təmin edir.

Semicorex, vafli diametri, yuva sayı, piyada boyu və həndəsə dəyişikliyi də daxil olmaqla müxtəlif avadanlıq konfiqurasiyaları üçün xüsusi dizaynlar təqdim edir. Hər bir məhsul saflıq, ölçülü ölçülən və istilik keçiriciliyi üçün test üçün yoxlanılır, hamısı yarımkeçirici istehsal prosesində ən yüksək standartlara cavab verəcəkdir.

Silikon piyası gəmisi oksidləşmə və diffuziya proseslərinə, həmçinin LPCVD və temperaturun vahidliyi və çirklənmə nəzarəti tələb edən lPCVD və yanma tətbiqləri ilə uyğun gəlir.