Silikon Üzüklər

Silikon aşındırma halqaları CCP/ICP aşındırma avadanlığının plazma aşındırma kamerasının əsas komponentləridir və adətən yarımkeçirici vafli ətrafında yerləşdirilir. Onların əsas funksiyaları yarımkeçirici vaflini dəstəkləmək, vahid plazma paylanmasını saxlamaq, vafli kənarını qorumaq və bununla da plazma aşındırma prosesi üçün optimal iş şəraitinin yaradılmasına kömək etməkdir.

Semicorex silisium aşındırma üzüklərinin üstünlükləri

1. Premium material seçimi

Semicorex silisium aşındırma üzükləri diqqətlə seçilmiş yüksək təmizlikli MCZ-dən hazırlanırmonokristal silikon, adi CZ monokristal silisiumuna nisbətən aşağıdakı əla xassələri təklif edir.

Yüksək təmizlik: Təmizlik 99,9999999%-dən çoxdur, yəni Semicorex silisium aşındırma halqalarında demək olar ki, heç bir çirk yoxdur. Bu ultra yüksək təmizlik aşındırma prosesi zamanı komponent çirklərinin müdaxiləsindən effektiv şəkildə qaça bilər və bununla da yüksək aşındırma dəqiqliyinə zəmanət verir.

Stabil struktur: MCZ monokristal silikonu adi CZ monokristal silisiumundan daha az qüsurlu üstün kristal quruluşa malikdir. Bu sabit kristal quruluş Semicorex silikon aşındırma üzüklərinə plazma korroziyasına qarşı gücləndirilmiş korroziya müqaviməti verir və onlara sərt aşındırma iş şəraitinə tab gətirməyə imkan verir.

Mükəmməl müqavimət vahidliyi:Semicorex silisium aşındırma üzükləriRRG < 5% ilə müstəsna müqavimət vahidliyi təmin edir. Aşağı Res. (<0,02 Ω·sm), Orta Res. (0,2–25 Ω·sm), Yüksək Res. (>100 Ω·sm). Bu əla müqavimət vahidliyi həddindən artıq yüksək və ya aşağı müqavimət nəticəsində yaranan qeyri-bərabər plazma paylanmasını minimuma endirə bilər ki, bu da yüksək dəqiqlikli plazma aşındırma üçün ideal elektrik sahəsinə kömək edir.

2. Dəqiq emal və ciddi keyfiyyət yoxlaması

Semicorex, dəyərli müştərilərimiz üçün fərdi fərdiləşdirmə və texniki qiymətləndirmələr təmin edə bilən təcrübəli texniki komandaya malikdir və həmçinin məhsulun keyfiyyətinə zəmanət vermək üçün sistematik emal və yoxlama prosedurları qurmuşdur.

Çevik fərdiləşdirmə xidmətləri: Semicorex müştəri çertyojları əsasında fərdiləşdirməni dəstəkləyir və silikon aşındırma üzüklərinin maksimum fərdi diametri 470 mm-ə qədər ola bilər.

Yüksək standart səth müalicəsi: Cilalama dəqiqliyi Ra < 0,1 µm daxilində ciddi şəkildə idarə oluna bilər və incə daşlama Ra > 0,1 µm səthə nail olur.

Ciddi keyfiyyət yoxlaması: Silikon aşındırma üzüklərinin çiplərdən, cızıqlardan, çatlardan, ləkələrdən və digər qüsurlardan azad olmasını təmin etmək üçün ölçülü ölçü, müqavimət testi və vizual yoxlama aparılacaqdır.