Silikon Karbid Qrafit Substrat MOCVD Susseptor

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor, üstün performans və davamlılıq təmin edə bilən yüksək keyfiyyətli daşıyıcı axtaran yarımkeçirici istehsalçıları üçün son seçimdir. Onun qabaqcıl materialı hətta istilik profilini və laminar qaz axını modelini təmin edərək yüksək keyfiyyətli vaflilər təqdim edir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Bizim Silikon Karbid Qrafit Substrat MOCVD Susseptorumuz yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmış, məhsulun vahidliyini və tutarlılığını təmin etməklə yüksək saflığa malikdir. O, həmçinin yüksək korroziyaya davamlıdır, sıx səthə və incə hissəciklərə malikdir, bu da onu turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərə davamlı edir. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitliyi təmin edir.
Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.

Silikon Karbid Qrafit Substrat MOCVD Susseptorunun Parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

MOCVD üçün SiC ilə örtülmüş qrafit tutucunun xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın