RTP Ring

Semicorex RTP Ring, Sürətli Termal Emal (RTP) sistemlərində yüksək performanslı tətbiqlər üçün hazırlanmış SiC örtüklü qrafit üzükdür. Bu məhsul yarımkeçiricilərin istehsalı üçün, xüsusən də yumşalma, qatqı və oksidləşmə kimi proseslər üçün dəqiq və vahid qızdırmanın vacib olduğu RTP mərhələsində çox vacibdir. RTP Ring-in dizaynı üstün istilik keçiriciliyi, kimyəvi müqavimət və mexaniki möhkəmlik təmin edərək, onu yarımkeçirici qurğuların istehsalında yüksək temperatur prosesləri üçün etibarlı həll edir.

Əsas Xüsusiyyətlər:

Artırılmış davamlılıq üçün SiC örtük

RTP Ring, üstün istilik sabitliyi və kimyəvi müqaviməti ilə tanınan bir material olan silisium karbid (SiC) təbəqəsi ilə örtülmüşdür. Bu örtük halqanın RTP proseslərinin ekstremal şərtlərinə tab gətirməsinə imkan verən gücləndirilmiş dayanıqlığı təmin edir. SiC təbəqəsi eyni zamanda adətən yüksək temperatura məruz qalma nəticəsində yaranan aşınmanı əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və örtülməmiş qrafit komponentləri ilə müqayisədə daha uzun xidmət müddətini təmin edir.

Yüksək istilik keçiriciliyi

Qrafit əla istilik keçiricisidir və SiC örtüyü ilə birləşdirildikdə, RTP Ring müstəsna istilik keçiriciliyi təmin edir. Bu, sürətli termal emal zamanı dəqiq temperatur nəzarəti üçün vacib olan vahid istilik paylanmasına imkan verir. Vahid qızdırma yarımkeçirici vaflilərin keyfiyyətini və tutarlılığını yaxşılaşdırır, son cihazlarda daha yaxşı performansa gətirib çıxarır.

Kimyəvi və İstilik Müqaviməti

SiC örtüyü qrafit nüvəsini reaktiv qazlardan və RTP zamanı tez-tez rast gəlinən oksigen, azot və müxtəlif əlavə maddələr kimi sərt kimyəvi maddələrdən qoruyur. Bu qoruma halqanın korroziyasının və deqradasiyasının qarşısını alır, hətta çətin kimyəvi mühitlərdə belə onun struktur bütövlüyünü saxlamağa imkan verir. Bundan əlavə, SiC örtüyü halqanın RTP tətbiqlərində adətən tələb olunan yüksək temperaturlara deqradasiya olmadan tab gətirməsini təmin edir, həm oksidləşməyə davamlılıq, həm də əla yüksək temperatur gücü təklif edir.

Fərdiləşdirmə Seçimləri

Semicorex, RTP Ring-i xüsusi proses tələblərinə uyğunlaşdırmaq üçün müxtəlif fərdiləşdirmə variantları təklif edir. Fərqli RTP kamera konfiqurasiyalarını və vafli idarə sistemlərini yerləşdirmək üçün xüsusi ölçülər və formalar mövcuddur. Şirkət həmçinin SiC örtüyünün qalınlığını müştəri ehtiyaclarına uyğunlaşdıraraq, xüsusi tətbiqlər üçün optimal performans və uzunömürlülüyü təmin edə bilər.

Təkmilləşdirilmiş Proses Səmərəliliyi

RTP Ring yarımkeçirici vaflilər arasında dəqiq və vahid istilik paylanmasını təmin etməklə prosesin səmərəliliyini artırır. Təkmilləşdirilmiş istilik nəzarəti vafli emalının istilik müalicəsi mərhələlərində istilik gradientlərini azaltmağa və qüsurları minimuma endirməyə kömək edir. Bu, daha yaxşı məhsuldarlığa və yüksək keyfiyyətli hazır məhsula gətirib çıxarır, istehsal xərclərini aşağı salmağa və məhsuldarlığı yaxşılaşdırmağa kömək edir.

Aşağı Çirklənmə Riski

SiC ilə örtülmüş qrafit üzük yarımkeçiricilərin emalı zamanı çirklənmə risklərini minimuma endirməyə kömək edir. Digər materiallardan fərqli olaraq, SiC istilik müalicəsi zamanı zərif yarımkeçirici vaflilərə potensial müdaxilə edə bilən hissəciklər buraxmır. Bu xüsusiyyət çirklənməyə nəzarətin çox vacib olduğu təmiz otaq mühitlərində xüsusilə vacibdir.

RTP-də tətbiqlər:

RTP Ring ilk növbədə yarımkeçirici istehsalının Sürətli Termal Emal mərhələsində istifadə olunur ki, bu da materialın dəqiq modifikasiyasına nail olmaq üçün vaflilərin çox qısa müddətdə yüksək temperatura qədər qızdırılmasını nəzərdə tutur. Bu mərhələ kimi proseslər üçün çox vacibdir:

• Qızartma:RTP adətən kristal zədələnməsini təmir etmək və əlavə maddələri aktivləşdirmək üçün qatqılı vaflilərin yumşaldılması üçün istifadə olunur. SiC ilə örtülmüş qrafit RTP Ring vahid istilik paylanmasını təmin edir, bu da ardıcıl yumşalma nəticələrinə nail olmaq üçün vacibdir.
• Oksidləşmə və diffuziya:Oksidləşmə və ya diffuziya prosesləri zamanı RTP Ring-in yüksək istilik keçiriciliyi və kimyəvi müqaviməti oksid təbəqələrinin vahid böyüməsini və qatqı diffuziyasını asanlaşdırmağa kömək edir, təbəqəyə dəqiq nəzarəti və vafli keyfiyyətini təmin edir.
• Dopinq:Dopinq proseslərində RTP Ring yarımkeçirici materialda istənilən dopinq profillərinə nail olmaq üçün vacib olan lazımi temperatur sabitliyinin saxlanmasında əsas rol oynayır.
• Dopantların aktivləşdirilməsi:RTP sistemlərinin sürətli temperatur artımı və soyutma qabiliyyəti, SiC ilə örtülmüş qrafit halqanın istilik səmərəliliyi ilə birlikdə, yarımkeçirici materialların elektrik xüsusiyyətlərini uyğunlaşdırmaq üçün vacib olan dəqiq əlavə aktivləşdirməyə imkan verir.

Digər materiallardan üstünlükləri:

Ənənəvi qrafit üzüklər və ya digər örtülmüş komponentlərlə müqayisədə, SiC örtüklü qrafit RTP Ring bir sıra üstünlüklər təklif edir. Onun SiC örtüyü yalnız komponentin istismar müddətini uzatmır, həm də istilik müqaviməti və istilik keçiriciliyi baxımından üstün performans təmin edir. SiC örtükləri olmayan qrafit əsaslı komponentlər sərt termal dövrlərdə daha sürətli deqradasiyaya məruz qala bilər ki, bu da daha tez-tez dəyişdirilməsinə və potensial olaraq daha yüksək əməliyyat xərclərinə səbəb olur. Bundan əlavə, SiC örtüyü dövri texniki xidmət ehtiyacını azaldır, yarımkeçiricilərin emalının ümumi səmərəliliyini artırır.

Üstəlik, SiC örtüyü yüksək temperaturda emal zamanı çirkləndiricilərin sərbəst buraxılmasının qarşısını alır, örtülməmiş qrafitdə ümumi bir problemdir. Bu, yarımkeçirici istehsalının yüksək dəqiqlik tələbləri üçün vacib olan daha təmiz proses mühitini təmin edir.

Semicorex RTP Ring – SiC örtüklü qrafit üzük, Sürətli Termal Emal sistemlərində istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir. Mükəmməl istilik keçiriciliyi, yüksək istilik və kimyəvi müqaviməti və fərdiləşdirilə bilən xüsusiyyətləri ilə tələb olunan yarımkeçirici proseslər üçün ideal həlldir. Onun dəqiq temperatur nəzarətini saxlamaq və komponentlərin ömrünü uzatmaq qabiliyyəti prosesin səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, çirklənmə risklərini azaldır və ardıcıl, yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici istehsalını təmin edir. Semicorex SiC ilə örtülmüş qrafit RTP Ring seçməklə, istehsalçılar RTP proseslərində yüksək nəticələr əldə edə, istehsallarının həm səmərəliliyini, həm də keyfiyyətini artıra bilərlər.