SiC Örtük Pancake Susceptor

SemicorexSiC örtükPancake Susceptor, Metal Üzvi Kimyəvi Buxar Depoziti MOCVD sistemlərində quraşdırmaq üçün nəzərdə tutulmuş yeni nəsil hissədir. Bu sistemlər epitaksial təbəqələrin müxtəlif substratlarda yerləşdirildiyi mexanizmin mühüm hissəsini təşkil edir. Burada göstərilən xüsusi qəbuledici yalnız yarımkeçirici tətbiqlər üçün, əsasən LED-lərin, yüksək güclü cihazların və RF cihazlarının istehsalı üçün nəzərdə tutulub. Bu tətbiqlərdə istifadə olunan substratlar tez-tez sapfir və ya keçirici və yarı izolyasiya edən SiC kimi materiallarda formalaşa bilən epitaksial təbəqəyə ehtiyac duyur. Bu SiC Coating Pancake Susceptor səmərəli, etibarlı və dəqiq çöküntüləri olan MOCVD reaktorlarında əla performans verir.

Yarımkeçirici sənayesində əla material xassələri, möhkəm konstruksiya və xüsusi MOCVD prosesləri üçün fərdiləşdirmə qabiliyyəti ilə məşhurdur. Güc və RF tətbiqlərində yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrə tələbat artdıqca, Semicorex seçmək sizə optimal performans və uzun xidmət müddəti təklif edən ən yüksək səviyyəli məhsula zəmanət verir. Bu susseptor yarımkeçirici vaflilər üçün əsasdır və yarımkeçiricilərdə epitaksial təbəqələrin yerləşdirilməsi prosesində tətbiq edilir. Qatlardan LED-lər, HEMT-lər və SBD və MOSFET kimi güc yarımkeçirici cihazları daxil olan cihazların istehsalı üçün istifadə edilə bilər. Bu cür cihazlar müasir rabitə, yüksək güclü elektron və optoelektronik tətbiqlər üçün çox vacibdir.

Xüsusiyyətlər və Faydalar

1. Yüksək istilik keçiriciliyi və vahid istilik paylanması

SiC örtük Pancake Susceptor-un əsas xüsusiyyətlərindən biri onun müstəsna istilik keçiriciliyidir. Material yarımkeçirici vaflilərdə epitaksial təbəqələrin bərabər böyüməsi üçün çox vacib olan MOCVD prosesi zamanı vahid istilik paylanmasını təmin edir. Yüksək istilik keçiriciliyi vafli substratın bərabər şəkildə qızdırılmasını təmin edir, temperatur gradientlərini minimuma endirir və yığılmış təbəqələrin keyfiyyətini artırır. Bu, təkmilləşdirilmiş vahidliyə, daha yaxşı material xüsusiyyətlərinə və ümumilikdə daha yüksək məhsuldarlığa səbəb olur.

2. SiC örtükTəkmil davamlılıq üçün

SiC örtüyü MOCVD prosesi zamanı qrafit həssasının aşınması və deqradasiyası üçün möhkəm bir həll təmin edir. Kaplama, çökmə prosesində istifadə edilən metal-üzvi prekursorların korroziyaya qarşı yüksək müqavimətini təklif edir ki, bu da suseptorun ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə uzadır. Bundan əlavə, SiC təbəqəsi epitaksial təbəqələrin bütövlüyünü və saflığını təmin edən kritik amil olan qrafit tozunun vafli çirklənməsinin qarşısını alır.

Kaplama, eyni zamanda, qəbuledicinin ümumi mexaniki gücünü yaxşılaşdırır, onu MOCVD prosesində tez-tez rast gəlinən yüksək temperaturlara, istilik dövriyyəsinə və mexaniki stresslərə daha davamlı edir. Bu, daha uzun istismar müddətinə və təmir xərclərinin azalmasına səbəb olur.

3. Yüksək Ərimə Nöqtəsi və Oksidləşmə Müqaviməti

SiC örtük Pancake Susceptor həddindən artıq temperaturda işləmək üçün hazırlanmışdır, SiC örtüyü yüksək temperaturda oksidləşmə və korroziyaya qarşı müqaviməti təmin edir. Kaplamanın yüksək ərimə nöqtəsi, həssaslığa MOCVD reaktorlarına xas olan yüksək temperaturlara onun struktur bütövlüyünü pozmadan və ya itirmədən dözməyə imkan verir. Bu xüsusiyyət yüksək məhsuldarlıqlı yarımkeçirici istehsal mühitlərində uzunmüddətli etibarlılığın təmin edilməsində xüsusilə vacibdir.

4. Əla Səthi Düzlük

SiC örtük Pancake Susceptor səthinin hamarlığı epitaksial böyümə prosesi zamanı vaflilərin düzgün yerləşdirilməsi və vahid qızdırılması üçün çox vacibdir. Kaplama, çöküntü prosesində hər hansı uyğunsuzluqdan qaçaraq, vaflinin bərabər şəkildə yerində saxlanmasını təmin edən hamar, düz bir səth təmin edir. Bu yüksək səviyyəli düzlük, cihazın işləməsi üçün vahidliyin vacib olduğu LEDlər və güc yarımkeçiriciləri kimi yüksək dəqiqlikli cihazların böyüməsində xüsusilə vacibdir.

5. Yüksək Bağ Gücü və Termal Uyğunluq

SiC örtüyü ilə qrafit substratı arasındakı əlaqə gücü materialın istilik uyğunluğu ilə gücləndirilir. Həm SiC təbəqəsinin, həm də qrafit əsasının istilik genişlənmə əmsalları bir-birinə yaxındır ki, bu da temperaturun dəyişməsi altında çatlama və ya təbəqələşmə riskini azaldır. Bu xassə MOCVD prosesində təkrarlanan isitmə və soyutma dövrləri zamanı sensorun struktur bütövlüyünü qorumaq üçün vacibdir.

6. Müxtəlif proqramlar üçün özelleştirilebilir

Semicorex yarımkeçirici sənayesinin müxtəlif ehtiyaclarını başa düşür və SiC Coating Pancake Susceptor xüsusi proses tələblərinə cavab vermək üçün fərdiləşdirilə bilər. LED istehsalında, güc qurğusunun istehsalında və ya RF komponentlərinin istehsalında istifadə olunsa da, susseptor müxtəlif vafli ölçülərə, formalara və istilik tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər. Bu çeviklik SiC Coating Pancake Susceptor-un yarımkeçirici sənayesində geniş tətbiqlər üçün uyğun olmasını təmin edir.

Yarımkeçiricilər İstehsalında Tətbiq

SiC örtük Pancake Susceptor, ilk növbədə, MOCVD sistemlərində, yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün həyati texnologiyada istifadə olunur. Qəbuledici müxtəlif yarımkeçirici substratları, o cümlədən sapfir, silisium karbid (SiC) və LED-lər, güc yarımkeçirici cihazları və RF cihazları kimi cihazların istehsalı üçün istifadə olunan GaN-ni dəstəkləyir. SiC Coating Pancake Susceptor-un üstün istilik idarəetməsi və davamlılığı bu cihazların müasir elektronikanın tələb olunan performans tələblərinə cavab vermək üçün istehsal edilməsini təmin edir.

LED istehsalında, SiC Coating Pancake Susceptor sapfir substratlarda GaN təbəqələrini yetişdirmək üçün istifadə olunur, burada yüksək istilik keçiriciliyi epitaksial təbəqənin vahid və qüsursuz olmasını təmin edir. MOSFET-lər və SBD-lər kimi güc qurğuları üçün susseptor yüksək cərəyanların və gərginliklərin idarə edilməsi üçün vacib olan SiC epitaksial təbəqələrinin böyüməsində mühüm rol oynayır. Eynilə, RF cihaz istehsalında, SiC Coating Pancake Susceptor, rabitə sistemlərində istifadə olunan HEMT-lərin istehsalına imkan verən yarı izolyasiya edən SiC substratlarında GaN təbəqələrinin böyüməsini dəstəkləyir.

SiC örtük Pancake Susceptor ehtiyaclarınız üçün Semicorex seçmək, keyfiyyət, performans və davamlılıq baxımından sənaye standartlarına cavab verən deyil, həm də onları aşan məhsul əldə etməyinizi təmin edir. Dəqiq mühəndislik, üstün material seçimi və fərdiləşdirməyə diqqət yetirərək, Semicorex məhsulları MOCVD sistemlərində optimal performans təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Bizim susseptorumuz yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələri təmin edərək və dayanma müddətini minimuma endirərək istehsal prosesinizi asanlaşdırmağa kömək edir. Semicorex ilə siz yarımkeçiricilər istehsalında uğurunuza sadiq olan etibarlı tərəfdaş əldə edirsiniz.