MOCVD üçün SiC Gofret Qəbzləri

MOCVD üçün Semicorex SiC Wafer Susceptors, yarımkeçirici materialların vaflilərə epitaksial çökdürülməsini asanlaşdırmaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmış dəqiqlik və innovasiya nümunəsidir. Plitələrin üstün material xüsusiyyətləri onlara yüksək temperatur və korroziyalı mühitlər də daxil olmaqla epitaksial böyümənin sərt şərtlərinə tab gətirməyə imkan verir və onları yüksək dəqiqlikli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün əvəzolunmaz edir. Biz Semicorex-də MOCVD üçün keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı SiC Gofret Susseptorlarının istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

İstilik sabitliyi, kimyəvi müqavimət və mexaniki dayanıqlığın birləşməsi, MOCVD üçün Semicorex SiC Gofret Susseptorlarının hətta sərt emal şəraitində belə uzun müddət işləmə müddətini təmin edir:

1. MOCVD üçün bu SiC Gofret Susseptorları çox yüksək temperaturlara, tez-tez 1500°C-dən yuxarı, deqradasiyaya uğramadan dayanmaq üçün hazırlanmışdır. Bu möhkəmlik yüksək istilik mühitlərinə uzun müddət məruz qalmağı tələb edən proseslər üçün çox vacibdir. Üstün termal xassələr istilik qradiyentlərini və həssaslıq daxilində gərginliyi minimuma endirir, beləliklə, həddindən artıq emal temperaturları altında əyilmə və ya deformasiya riskini azaldır.

2. MOCVD üçün SiC Gofret Susseptorlarının SiC örtüyü halogen əsaslı qazlar kimi CVD proseslərində istifadə olunan aşındırıcı kimyəvi maddələrə müstəsna müqavimət göstərir. Bu hərəkətsizlik daşıyıcıların texnoloji qazlarla reaksiya verməməsini təmin edir, beləliklə, yığılmış filmlərin bütövlüyünü və təmizliyini qoruyur.

3. MOCVD üçün bu SiC Gofret Susseptorlarının möhkəm konstruksiyası onların vafli çirkləndirə biləcək hissəciklər yaratmadan işləmə və emal zamanı mexaniki gərginliyə tab gətirə bilməsini təmin edir. Qəbuledicilərin səthinin vahidliyi ardıcıl performans və etibarlılığa malik yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün vacib olan təkrar emal şərtlərini təşviq edir.

Bu genişləndirilmiş təsvirlər yarımkeçirici CVD proseslərində MOCVD üçün SiC Gofret Susseptorlarının peşəkar və texniki üstünlüklərini vurğulayır, onların unikal xassələrini və istehsal prosesində yüksək təmizlik, performans və səmərəlilik standartlarını saxlamaqda üstünlüklərini vurğulayır.