MOCVD üçün SiC Suseptor

Semicorex, MOCVD üçün SiC Susceptorun aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Məhsulumuz vafli çipində epitaksial təbəqənin artırılmasında yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Məhsul MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

MOCVD üçün SiC Susceptorumuz bir sıra əsas xüsusiyyətlərə malik yüksək keyfiyyətli məhsuldur. Bütün səthdə örtülməni təmin edir, soyulmağın qarşısını alır və yüksək temperaturda oksidləşmə müqavimətinə malikdir, hətta 1600 ° C-ə qədər yüksək temperaturda sabitliyi təmin edir. Məhsul yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi yolu ilə yüksək təmizliklə hazırlanır. İncə hissəcikləri olan sıx bir səthə malikdir, bu da onu turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərdən korroziyaya yüksək dərəcədə davamlı edir.
MOCVD üçün SiC Susceptorumuz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelini təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alır, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edir.

MOCVD üçün SiC Susceptor parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC Î² mərhələsi
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	Î¼m	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Young's Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300â)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilikkeçirmə	(Vt/mK)	300

MOCVD üçün SiC Susceptor xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın