MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcıları

MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcılarını zavodumuzdan alacağınıza əmin ola bilərsiniz. Semicorex-də biz Çində SiC Coated Graphite Susceptor-un geniş miqyaslı istehsalçısı və təchizatçısıyıq. Məhsulumuz yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Biz müştərilərimizə onların xüsusi tələblərinə cavab verən yüksək keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə çalışırıq. MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcımız yarımkeçirici istehsal prosesi üçün yüksək performanslı daşıyıcı axtaranlar üçün əla seçimdir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcısı yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində mühüm rol oynayır. Məhsulumuz hətta ekstremal mühitlərdə belə yüksək dayanıqlıdır və onu yüksək keyfiyyətli vaflilərin istehsalı üçün əla seçim edir.
MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcılarımızın xüsusiyyətləri əladır. Sıx səthi və incə hissəcikləri onun korroziyaya davamlılığını artırır, turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlərə davamlıdır. Daşıyıcı bərabər istilik profilini təmin edir və ən yaxşı laminar qaz axını modelinə zəmanət verir, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin vaflidə yayılmasının qarşısını alır.

MOCVD üçün SiC Kaplama Qrafit Substrat Gofret Daşıyıcılarının Parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

MOCVD üçün SiC ilə örtülmüş qrafit tutucunun xüsusiyyətləri

- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın