LPE Reaktor Kamerası üçün Semicorex-in SiC ilə örtülmüş əmzikli bareli, üstün istilik paylanması və istilik keçiriciliyi xüsusiyyətlərinə malik yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün yüksək etibarlı həlldir. O, həmçinin korroziyaya, oksidləşməyə və yüksək temperaturlara yüksək davamlıdır.
LPE Reaktor Palatası üçün Semicorex-in SiC ilə örtülmüş süpürgəçi bareli yüksək dəqiqlik və davamlılıq standartlarına uyğun istehsal edilmiş yüksək keyfiyyətli məhsuldur. Mükəmməl istilik keçiriciliyi, korroziyaya davamlılıq təklif edir və yarımkeçirici istehsalında LPE tətbiqləri üçün çox uyğundur.
LPE Reaktor Palatası üçün SiC ilə örtülmüş qəbuledici barelimiz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
LPE Reaktor Palatası üçün SiC ilə örtülmüş Suseptor Barrelimiz haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
LPE Reaktor Palatası üçün SiC-Örtüklü Suseptor Barrelinin Parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
LPE Reaktor Palatası üçün SiC ilə örtülmüş Suseptor Barrelinin xüsusiyyətləri
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.
- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.
- Həm qrafit substrat, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.