Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor xüsusi olaraq LPE prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək təmizlikli SiC ilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli qrafit məhsuludur. Mükəmməl istilik və korroziyaya davamlılığı ilə bu məhsul yarımkeçiricilərin istehsalında istifadə üçün mükəmməldir.
Yarımkeçirici vaflilərdə epitaksial təbəqənin əmələ gəlməsi üçün yüksək performanslı qrafit reseptoru axtarırsınızsa, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor əla seçimdir. Onun silisium karbid örtüyü üstün istilik paylanması və istilik keçiriciliyi təmin edərək, hətta ən tələbkar yüksək temperaturlu mühitlərdə müstəsna performans təmin edir.
Semicorex-də biz diqqətimizi yüksək keyfiyyətli, sərfəli karbidlə örtülmüş reaktor çəlləkləri ilə təmin etməyə yönəldir, müştəri məmnuniyyətini prioritetləşdiririk və sərfəli həllər təqdim edirik. Biz sizin uzunmüddətli partnyorunuz olmağı, yüksək keyfiyyətli məhsullar və müstəsna müştəri xidməti təqdim etməyi səbirsizliklə gözləyirik.
Karbidlə örtülmüş reaktor lüləsinin qəbuledicisinin parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β fazası |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Karbidlə örtülmüş reaktor lüləsinin qapağının xüsusiyyətləri
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.
- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.
- Həm qrafit substrat, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.