Yüksək ərimə nöqtəsi, oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılığı ilə Semicorex SiC ilə örtülmüş LPE Kristal Böyümə Qabağı monokristal böyüməsi tətbiqlərində istifadə üçün ideal seçimdir. Onun silisium karbid örtüyü əla düzlük və istilik paylama xassələri təmin edərək onu yüksək temperaturlu mühitlər üçün ideal seçim edir.
Semicorex SiC ilə örtülmüş LPE Kristal Böyümə Qabağı, müstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylama xüsusiyyətləri sayəsində yarımkeçirici vaflilərdə epiksial təbəqənin formalaşması üçün mükəmməl seçimdir. Onun yüksək təmizlikli SiC örtüyü hətta ən tələbkar yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə də üstün qoruma təmin edir.
SiC ilə örtülmüş LPE Crystal Growth Susceptor, istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
SiC örtüklü LPE Crystal Growth Susceptor haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
SiC ilə örtülmüş LPE Crystal Growth Susceptor parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
SiC ilə örtülmüş LPE Crystal Growth Susceptor xüsusiyyətləri
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.
- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.
- Həm qrafit substrat, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.