SiC ilə örtülmüş Qrafit MOCVD Susseptorları

SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD reseptorlarıvafli substratların saxlanması və qızdırılması üçün cavabdeh olan Metal-üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) avadanlığında istifadə olunan əsas komponentlərdir. Üstün istilik idarəetməsi, kimyəvi müqaviməti və ölçü sabitliyi ilə SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD həssasları yüksək keyfiyyətli vafli substrat epitaksisi üçün optimal seçim kimi qəbul edilir.

Gofret istehsalında,MOCVDtexnologiya təkmil yarımkeçirici cihazların istehsalına hazırlaşan vafli substratların səthində epitaksial təbəqələrin qurulması üçün istifadə olunur. Epitaksial təbəqələrin böyüməsi bir çox amillərdən təsirləndiyindən, vafli substratlar çökmə üçün birbaşa MOCVD avadanlığına yerləşdirilə bilməz. SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD reseptorları vafli substratları saxlamaq və qızdırmaq üçün tələb olunur, epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün sabit istilik şəraiti yaradır. Buna görə də, SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD reseptorlarının performansı nazik film materiallarının vahidliyini və saflığını birbaşa müəyyənləşdirir, bu da öz növbəsində qabaqcıl yarımkeçirici cihazların istehsalına təsir göstərir.

Semicorex seçiryüksək təmizlikli qrafitSiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD həssasları üçün matris materialı kimi istifadə olunur və sonra qrafit matrisini bərabər şəkildə örtür.silisium karbidCVD texnologiyası ilə örtük. Ənənəvi texnologiya ilə müqayisədə, CVD texnologiyası silisium karbid örtüyü ilə qrafit matrisi arasında bağlanma gücünü əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, nəticədə daha güclü yapışma ilə daha sıx bir örtük əldə edilir. Tələb olunan yüksək temperaturlu aşındırıcı atmosfer şəraitində belə, silisium karbid örtüyü uzun müddət ərzində struktur bütövlüyünü və kimyəvi sabitliyini qoruyur, korroziyalı qazlar və qrafit matrisi arasında birbaşa təması effektiv şəkildə qarşısını alır. Bu, qrafit matrisinin korroziyasını effektiv şəkildə aradan qaldırır və qrafit hissəciklərinin vafli substratları və epitaksial təbəqələri ayırıb çirkləndirməsinin qarşısını alır, yarımkeçirici qurğuların istehsalının təmizliyini və məhsuldarlığını təmin edir.

Semicorex-in SiC ilə örtülmüş qrafit MOCVD tutucularının üstünlükləri

1. Əla korroziyaya davamlılıq

2. Yüksək istilik keçiriciliyi

3. Üstün termal sabitlik

4. İstilik genişlənməsinin aşağı əmsalı

5. Müstəsna termal şok müqaviməti

6. Yüksək səth hamarlığı

7. Davamlı xidmət müddəti