SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək qapağı

Yarımkeçirici istehsal proqramlarında istifadə üçün yüksək performanslı qrafit qripi qıcıqlandırıcı axtarırsınızsa, Semicorex SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək çənəsi ideal seçimdir. Onun müstəsna istilik keçiriciliyi və istilik paylama xassələri onu yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə etibarlı və ardıcıl performans üçün əsas seçim edir.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Semicorex SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək tutucusu müstəsna istilik paylanması və istilik keçiriciliyi tələb edən yarımkeçiricilərin istehsalı proqramları üçün mükəmməl seçimdir. Onun yüksək təmizlikli SiC örtüyü və üstün sıxlığı ən çətin mühitlərdə belə etibarlı və ardıcıl performansı təmin edərək üstün qoruma və istilik paylama xüsusiyyətlərini təmin edir.

Bizim SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək tutucumuz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.

SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək qapaqları haqqında daha çox məlumat əldə etmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.

SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək tutucunun parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək tutucunun xüsusiyyətləri

- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperaturda və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.

- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.

- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.

- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.

- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.