LPE üçün Semicorex SiC Örtülü Barrel Susceptor, müstəsna düz səthi və yüksək keyfiyyətli SiC örtüyü sayəsində tək kristal artım tətbiqləri üçün mükəmməl seçimdir. Yüksək ərimə nöqtəsi, oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılığı onu yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə istifadə üçün ideal seçim edir.
Müstəsna istilik paylanması və istilik keçiriciliyi olan bir qrafit sensoru axtarırsınız? LPE proseslərində və digər yarımkeçirici istehsal proqramlarında üstün performans üçün yüksək təmizlikdə SiC ilə örtülmüş LPE üçün Semicorex SiC Örtülü Barrel Susseptorundan başqasına baxmayın.
Semicorex-də biz müştərilərimizə yüksək keyfiyyətli, sərfəli məhsullar təqdim etməyə diqqət yetiririk. LPE üçün SiC Örtülü Barrel Susseptorumuz qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarına ixrac olunur. Ardıcıl keyfiyyətli məhsullar və müstəsna müştəri xidməti təqdim edərək uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı hədəfləyirik.
LPE üçün SiC Kaplamalı Barrel Suseptorunun Parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
LPE üçün SiC ilə örtülmüş çəllək tutucunun xüsusiyyətləri
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.
- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.
- Həm qrafit substrat, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.